马凌云

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(Al_(0.1)Ga_(0.9))_(0.5)In_(0.5)P材料的MOCVD生长温度窗口研究
《物理学报》2013年第2期502-506,共5页孙沛 李建军 邓军 韩军 马凌云 刘涛 
北京市教委项目(批准号:PXM201101420409000065)资助的课题~~
用来制作光电子器件的(Al_(0.1)Ga_(0.9))_(0.5)In_(0.5)为直接带隙的四元合金材料,对应的发光波长为630nm,在其LP-MOCVD(low press-metalorganic chemical vapor deposition)外延生长过程中温度的高低成为影响其质量的关键,找到合适的...
关键词:A1GaInR温度 MOCVD 
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