司平占

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发文主题：磁控溅射TIALN多层膜镁合金离子注入更多>>
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一种TiAlN多层膜制备新方法
《中国计量学院学报》2012年第2期193-197,共5页李根 张高会 徐鹏 乔宪武 于明州 施远驰 司平占 
采用自行设计制造的离子束联合溅射系统,将磁控溅射与离子注入技术相结合,在镁合金表面形成多层TiAlN强化膜.用金相显微镜、X射线衍射仪、原子力显微镜、摩擦磨损仪等手段,研究了多层膜的表面形貌、结构和性能.结果表明,TiAlN膜膜表面...
关键词：镁合金 磁控溅射 离子注入 
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