吴功航

作品数：1被引量：2H指数：1
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供职机构：天津师范大学物理与电子信息学院更多>>
发文主题：TIN薄膜多弧离子镀电弧离子镀色泽更多>>
发文领域：化学工程更多>>
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电弧离子镀不同色泽TiN薄膜的工艺研究被引量：2
《电镀与精饰》2013年第5期32-35,共4页刘野 黄美东 路少怀 吴功航 李洪玉 
天津师范大学学术创新推进计划资助(52X09038)
采用电弧离子镀的方法,在硅片上制备TiN仿金装饰膜层,主要研究氮气分压和基体偏压两个工艺参数对TiN薄膜色泽的影响。结果表明,氮气压强对TiN薄膜的色泽有明显的影响和控制作用。随着氮气分压的增大,薄膜的色泽由浅黄色向红棕色变化。...
关键词：多弧离子镀 TIN薄膜 色泽 氮气分压 基体偏压 
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