刘野

作品数：12被引量：32H指数：4
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供职机构：天津师范大学物理与材料科学学院更多>>
发文主题：电弧离子镀TIN薄膜磁控溅射表面形貌TIALN薄膜更多>>
发文领域：金属学及工艺理学一般工业技术电子电信更多>>
发文期刊：《天津师范大学学报（自然科学版）》《电镀与精饰》《表面技术》《中国表面工程》更多>>
所获基金：国家自然科学基金天津市高等学校科技发展基金计划项目更多>>
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脉冲偏压占空比对复合离子镀TiCN涂层结构和性能的影响被引量：10
《中国表面工程》2014年第4期100-106,共7页程芳 黄美东 王萌萌 范喜迎 李云珂 刘野 
国家自然科学基金(61078059);天津师范大学学术创新推进计划(52X09038)
采用多弧离子镀和磁控溅射复合离子镀技术在高速钢基底上制备TiCN涂层,通过改变脉冲偏压占空比的大小获得了不同的涂层试样,利用台阶仪、X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、维氏硬度计等对涂层进行表征,研究占空比对TiCN涂层组织...
关键词：复合离子镀 脉冲偏压占空比 TiCN涂层 显微硬度 
氮气流量对复合离子镀TiAlN薄膜性能的影响被引量：2
《天津师范大学学报（自然科学版）》2014年第1期38-41,共4页薛利 黄美东 程芳 刘野 许世鹏 李云珂 
国家自然科学基金资助项目(61078059);天津师范大学创新计划资助项目(52X09038)
利用电弧离子镀和磁控溅射相结合的复合镀技术,在300 V偏压、不同氮气流量下制备了一系列TiAlN薄膜.利用XP-2台阶仪、XRD、SEM和纳米力学测试系统分别对薄膜的沉积速率、晶体结构、表面形貌、硬度和弹性模量等进行测试和分析.实验结果表...
关键词：电弧离子镀 磁控溅射 TIALN薄膜 氮气流量 晶体结构 表面形貌 硬度 
氮气流量对电弧离子镀CrN薄膜组织结构和性能的影响被引量：4
《真空》2013年第3期63-65,共3页范喜迎 黄美东 李洪玉 刘野 许世鹏 薛利 潘玉鹏 
国家自然科学基金项目(61078059);天津师范大学大学生创新创业训练计划资助项目
利用电弧离子镀技术在高速钢基体上于不同氮气流量条件下制备CrN薄膜样品,通过纳米压痕仪、XP-2台阶仪、SEM和XRD测试分析了薄膜的硬度、弹性模量、厚度、表面形貌和物相结构。实验结果表明,氮气流量对CrN薄膜的组织结构和力学性能都具...
关键词：电弧离子镀 CRN薄膜 氮气流量 结构 性能 
电弧离子镀不同色泽TiN薄膜的工艺研究被引量：2
《电镀与精饰》2013年第5期32-35,共4页刘野 黄美东 路少怀 吴功航 李洪玉 
天津师范大学学术创新推进计划资助(52X09038)
采用电弧离子镀的方法,在硅片上制备TiN仿金装饰膜层,主要研究氮气分压和基体偏压两个工艺参数对TiN薄膜色泽的影响。结果表明,氮气压强对TiN薄膜的色泽有明显的影响和控制作用。随着氮气分压的增大,薄膜的色泽由浅黄色向红棕色变化。...
关键词：多弧离子镀 TIN薄膜 色泽 氮气分压 基体偏压 
氮气流量对磁控溅射TiN膜层色泽的影响被引量：4
《电镀与精饰》2013年第3期5-6,12,共3页吕长东 黄美东 刘野 许世鹏 薛利 
国家自然科学基金(61078059);天津师范大学学术推进计划项目(52X09038)
在国产SA-6T型离子镀膜机上利用反应直流溅射方法,在抛光后的W18Cr4V高速钢基体表面制备TiN膜层,考察氮气流量对薄膜色泽的影响。用扫描电镜对薄膜表面形貌进行观测,发现沉积的TiN膜层质量良好,无孔洞,表面平整、致密。采用色度计定量...
关键词：TIN薄膜 磁控溅射 装饰镀 色泽 氮气 
负偏压对多弧离子镀TiN薄膜结构和沉积速率的影响被引量：1
《真空》2013年第1期20-22,共3页潘玉鹏 黄美东 薛利 刘野 许世鹏 
天津师范大学推进计划项目(52X09038)资助
采用多弧离子镀设备在抛光后的高速钢表面沉积TiN薄膜,在其他参数不变的情况下,着重考察偏压对薄膜的沉积速率的影响。实验结果表明,随着负偏压的增加,沉积速率不断增加,但在负偏压达到一定值后,沉积速率又随偏压增大而减小。
关键词：多弧离子镀 TIN薄膜 偏压 沉积速率 
负偏压对电弧离子镀复合TiAlN薄膜的影响被引量：8
《表面技术》2012年第6期1-1,2,3,6,共4页黄美东 许世鹏 刘野 薛利 潘玉鹏 范喜迎 
国家自然科学基金(61078059);天津师范大学创新计划项目(52X09038)
采用电弧离子镀技术,以W18Cr4V高速钢为基体,调整基体负偏压,制得多个复合TiAlN薄膜试样,研究了基体负偏压对薄膜微观组织形貌、物相组成、晶格位向、硬度、厚度和沉积速率的影响。结果表明,过高或过低的负偏压会使得膜层表面不平整,显...
关键词：电弧离子镀 TIALN薄膜 负偏压 
退火处理对TiO_2薄膜结构和透射的影响
《真空》2012年第3期55-57,共3页王丽格 黄美东 杜珊 佟莉娜 刘野 
国家自然科学基金项目(61078059);天津师范大学推进计划项目(52X09038)
在常温下,采用射频反应磁控溅射方法在不同溅射功率下于K9双面抛光玻璃基底上制备二氧化钛薄膜。将制备的样品进行450℃退火6 h热处理。利用X射线衍射仪(XRD)对比分析了退火前后薄膜的微观结构,采用光栅光谱仪测试了退火前后薄膜样品的...
关键词：退火 磁控溅射 二氧化钛薄膜 
复合离子镀AlTiN薄膜的表面形貌
《真空》2012年第2期77-80,共4页佟莉娜 黄美东 孟凡宇 刘野 张学谦 王丽格 杜珊 
国家自然科学基金项目(61078059);天津师范大学推进计划项目(52X09038)
本工作将阴极真空电弧沉积法和磁控溅射离子镀法结合形成复合镀膜工艺,即用电弧蒸发Ti靶的同时,用磁控溅射Al靶,并通入反应气体N2,以在高速钢基底上镀制AlTiN薄膜,考察了复合镀膜方法获得的AlTiN薄膜的表面形貌,并将其与单一法镀膜的表...
关键词：复合离子镀 AlTiN薄膜 表面形貌 
偏压对电弧镀TiN薄膜结构和机械性能的影响被引量：3
《天津师范大学学报（自然科学版）》2012年第2期41-45,共5页佟莉娜 黄美东 孟凡宇 刘野 许世鹏 薛利 
国家自然科学基金资助项目(61078059);天津师范大学推进计划资助项目(52X09038)
采用SA-6T电弧离子镀设备在抛光后的W18Cr4V高速钢表面沉积TiN薄膜,在其他参数不变的情况下,考察偏压对薄膜结构和机械性能的影响.通过扫描电镜观察了TiN薄膜的表面形貌,采用X射线衍射仪对结构进行物相分析,利用XP-2台阶仪测试了薄膜的...
关键词：电弧离子镀 TIN薄膜 偏压 机械性能 
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