张永熙

作品数：3被引量：74H指数：3
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供职机构：复旦大学更多>>
发文主题：二氧化钛薄膜磁控溅射制备磁控溅射反应磁控溅射光催化更多>>
发文领域：理学一般工业技术电子电信更多>>
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溶胶-凝胶法制备二氧化钛薄膜的亲水性研究被引量：34
《真空科学与技术》2000年第6期385-389,共5页沈杰 董昊 张永熙 杨锡良 陈华仙 顾元壮 章壮健 
上海市教育委员会重点学科基金!资助项目 (B990 10 9)
对采用溶胶 凝胶法制备的TiO2 薄膜的亲水性进行了研究 ,讨论了退火时间和薄膜厚度对亲水性的影响 ,对亲水的机理进行了初步讨论 ,并讨论了通过测量薄膜表面水滴的直径来计算接触角的方法 ,与照相方法测得的接触角进行了比较 ,两者完...
关键词：溶胶-凝胶法 亲水性 接触角 二氧化钛薄膜 
直流反应磁控溅射制备二氧化钛薄膜的光催化性研究被引量：32
《真空科学与技术》2000年第4期252-255,260,共5页董昊 张永熙 杨锡良 沈杰陈 华仙 蒋益明 顾元壮 章壮健 
上海市教育委员会重点学科资助项目! (B990 10 9)
在磁控溅射器中用钛板作阴极 ,采用直流反应磁控溅射在玻璃基板上制备二氧化钛薄膜 ,溅射气体为氧、氩混合气体 ,O2 与Ar比例为 1∶2 ,溅射总气压范围为 0 5～ 6 65Pa ,溅射时基板温度范围为 1 0 0～ 40 0℃ ,薄膜厚度范围为 1 4 0～ 1...
关键词：直流反应磁控溅射 光催化性 二氧化钛薄膜 制备 
沉积速率及相关工艺条件对直流反应磁控溅射制备TiO_2薄膜性质的影响被引量：15
《真空科学与技术》2000年第1期13-18,共6页张永熙 沈杰 杨锡良 陈华仙 陆明 严学俭 章壮健 
在玻璃基板上用直流反应磁控溅射钛靶的方法制备TiO2 薄膜。在溅射总气压为 0 4Pa ,氧氩比分别为 1∶9,1∶5及 1∶3 2的情况下 ,调节溅射功率使沉积速率由 0 99nm/min变化到 12 12nm/min ,而且当基板温度为 34 0℃时 ,薄膜在可见光...
关键词：二氧化钛薄膜 反应磁控溅射 光学性质 光学薄膜 
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