陈华仙

作品数：11被引量：116H指数：6
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供职机构：复旦大学更多>>
发文主题：透明导电薄膜二氧化钛薄膜反应磁控溅射磁控溅射制备磁控溅射更多>>
发文领域：一般工业技术理学电子电信更多>>
发文期刊：《光电子技术》《真空科学与技术学报》《真空》更多>>
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透明导电氧化物薄膜的新进展被引量：17
《光电子技术》2002年第3期125-130,144,共7页孟扬 沈杰 蒋益明 陈佾 孔令柱 沃松涛 杨锡良 陈华仙 章壮健 
透明导电氧化物（TCO）薄膜In2O3:Sn和SnO。2:F都已经发展成熟,分别大规模应用于平板显示器和建筑两大领域。最近几年,TCO薄膜的研究又进入了一次复兴时期,研究和开发出几类具有明显特色的新型TCO薄膜。ZnO基TCO薄膜有替代In2O3:Sn薄膜...
关键词：TCO 透明导电氧化物 薄膜 进展 
透明导电IMO薄膜的载流子浓度测量
《光电子技术》2001年第4期245-250,共6页孟扬 沈杰 蒋益明 刘键 林剑 杨锡良 陈华仙 章壮健 
用反应蒸发法制备的掺钼氧化铟 ( In2 O3:Mo,IMO)薄膜在可见光区域的平均透射率 (含 1 .2 mm厚玻璃基底 )超过 80 % ,电阻率最低达 1 .7× 1 0 - 4Ω·cm。采用等离子振荡波长法、van-der-Pauw法和光谱拟合法等三种方法对IMO薄膜和 ITO...
关键词：透明导电薄膜 掺钼氧化铟 载流子浓度 
臭氧在热反应蒸发法低温制备透明导电薄膜IMO中的作用被引量：2
《真空科学与技术》2001年第4期259-262,268,共5页孟扬 杨锡良 陈华仙 沈杰 蒋益明 章壮健 华中一 
虽然采用常规的热反应蒸发法就可以在约 35 0℃的玻璃基底上制备出性能优良的In2 O3∶Mo(IMO)薄膜 ,但是随着基底温度的降低 ,IMO薄膜的电导率和可见光透射比都迅速减小。通过高频放电在反应气体中加入O3 后 ,可以在室温下将In充分氧化...
关键词：透明导电薄膜 掺钼氧化铟 热反应蒸发 臭氧 制备 玻璃基底 电阻率 透射比 
高价态差掺杂氧化物透明导电薄膜的研究被引量：22
《光电子技术》2001年第1期17-24,共8页孟扬 杨锡良 陈华仙 沈杰 蒋益明 章壮健 
在实用的透明导电氧化物 (TCO)薄膜中 ,载流子迁移率主要是受电子与掺杂离子之间散射的限制。如果掺杂离子与氧化物中被替代离子的化合价相差较大 ,每个掺杂离子可以提供较多的自由载流子 ,则使用较少的掺杂量就可以获得足够多的自由载...
关键词：透明导电薄膜 掺杂氧化物 掺钼氧化铟 
溶胶-凝胶法制备二氧化钛薄膜的亲水性研究被引量：34
《真空科学与技术》2000年第6期385-389,共5页沈杰 董昊 张永熙 杨锡良 陈华仙 顾元壮 章壮健 
上海市教育委员会重点学科基金!资助项目 (B990 10 9)
对采用溶胶 凝胶法制备的TiO2 薄膜的亲水性进行了研究 ,讨论了退火时间和薄膜厚度对亲水性的影响 ,对亲水的机理进行了初步讨论 ,并讨论了通过测量薄膜表面水滴的直径来计算接触角的方法 ,与照相方法测得的接触角进行了比较 ,两者完...
关键词：溶胶-凝胶法 亲水性 接触角 二氧化钛薄膜 
新型透明导电薄膜In_2O_3∶Mo被引量：9
《真空科学与技术》2000年第5期331-335,共5页孟扬 杨锡良 陈华仙 沈杰 蒋益明 章壮健 华中一 
MoO3的饱和蒸气压较高 ,可以直接用热反应蒸发法制备In2 O3∶Mo(IMO)透明导电薄膜。XPS和XRD测试结果证明 ,IMO薄膜中的Mo是以Mo6+ 离子形式取代了In2 O3 晶格中的In3+ 离子而存在的 ,没有形成新的化合物 ,也没有改变In2 O3 的体心立方...
关键词：透明导电薄膜 掺钼氧化铟 反应蒸发 电导率 
沉积速率及相关工艺条件对直流反应磁控溅射制备TiO_2薄膜性质的影响被引量：15
《真空科学与技术》2000年第1期13-18,共6页张永熙 沈杰 杨锡良 陈华仙 陆明 严学俭 章壮健 
在玻璃基板上用直流反应磁控溅射钛靶的方法制备TiO2 薄膜。在溅射总气压为 0 4Pa ,氧氩比分别为 1∶9,1∶5及 1∶3 2的情况下 ,调节溅射功率使沉积速率由 0 99nm/min变化到 12 12nm/min ,而且当基板温度为 34 0℃时 ,薄膜在可见光...
关键词：二氧化钛薄膜 反应磁控溅射 光学性质 光学薄膜 
ZnO∶Al透明导电薄膜的研制被引量：12
《真空科学与技术》1998年第2期125-129,共5页应春 沈杰 陈华仙 杨锡良 章壮健 
介绍用直流平面磁控溅射方法制备掺铝的氧化锌透明导电薄膜并研究了其特性，阐述了金属氧化物透明导电薄膜研究的发展情况及其应用前景，并讨论了氧化锌掺铝薄膜的优点。介绍了ZnO∶Al薄膜的制备情况：靶的制备及薄膜的制备过程。测量...
关键词：掺铝 氧化锌 薄膜 反应磁控溅射 透明 导电 
介质薄膜的透射光谱测量及其光学参数的分析被引量：14
《真空科学与技术》1997年第6期417-427,共11页唐沪军 沈杰 陈华仙 杨锡良 顾元壮 章壮健 
介绍介质薄膜透射光谱的测量以及基于分析薄膜透射光谱的计算薄膜光学参数的方法。对制备在玻璃基板上的二氧化钛、二氧化硅和氧化锌薄膜进行了可见光谱区的透射比测量，并用包络线方法和最优化方法对这些透明薄膜的光学参数进行了计算...
关键词：介质薄膜 透射光谱 光学参数 薄膜 
石墨放气量的快速精确测量及其试样制备工艺的研究
《真空》1994年第4期1-6,共6页姜祥祺 陈华仙 李涌江 徐全胜 
本文研制了一台快速、精确测量材料放气性能的真空系统，对彩显管用石墨试样制备规范作了实验研究，并给出了国内外石墨试样放气总量的对比数据。
关键词：放气性能 石墨放气量 试样制备 
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