应春

作品数：2被引量：16H指数：2
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发文主题：氧化锌ALZNO反应磁控溅射透明导电薄膜更多>>
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ZnO∶Al透明导电薄膜的研制被引量：12
《真空科学与技术》1998年第2期125-129,共5页应春 沈杰 陈华仙 杨锡良 章壮健 
介绍用直流平面磁控溅射方法制备掺铝的氧化锌透明导电薄膜并研究了其特性，阐述了金属氧化物透明导电薄膜研究的发展情况及其应用前景，并讨论了氧化锌掺铝薄膜的优点。介绍了ZnO∶Al薄膜的制备情况：靶的制备及薄膜的制备过程。测量...
关键词：掺铝 氧化锌 薄膜 反应磁控溅射 透明 导电 
高效率平面磁控溅射器的研制被引量：4
《真空科学与技术》1996年第6期402-408,共7页应春 沈杰 唐沪军 杨锡良 章壮健 
介绍一种新型磁控溅射装置。它采用两块极性相对的环状磁铁的设计方法，通过扩大靶表面的等离子放电区域面积，使传统磁控溅射枪使用中经常受到的两个限制──溅射速率与靶的利用率得到了较大的改善。实验中铜靶在溅射功率密度为11W／c...
关键词：磁控溅射器 沉积速率 靶利用率 溅射 薄膜 
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