张胜基

作品数：5被引量：5H指数：1
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供职机构：北京师范大学更多>>
发文主题：离子源离子束强流离子注入机光洁度更多>>
发文领域：核科学技术金属学及工艺理学机械工程更多>>
发文期刊：《光学精密工程》《原子核物理评论》《北京师范大学学报（自然科学版）》《核技术》更多>>
所获基金：国家高技术研究发展计划北京市自然科学基金国家自然科学基金更多>>
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MEVVA离子源凸形引出电极的研制被引量：1
《核技术》2006年第2期93-96,共4页吴先映 张孝吉 李强 张胜基 张荟星 刘安东 
国家"863"计划项目(AA338020)北京市科技新星A(H020820990120)
介绍了金属蒸气真空弧(Metal vapor vacuum arc,MEVVA)离子源的凸形引出电极的研制。研究表明, 凸形引出电极可以完成离子束的强制发散功能,从而在较短的引出距离和较小的引出电极面积的条件下得到大的束斑和均匀可应用的束流分布。通...
关键词：金属蒸气真空弧离子源 引出电极 束流分布 
50型MEVVA源离子注入机被引量：2
《北京师范大学学报（自然科学版）》2002年第4期496-499,共4页吴先映 李强 张胜基 张孝吉 张荟星 
国家"八六三"计划资助项目
详细介绍了 5 0型强束流、大束斑MEVVA源注入机的结构和各项性能 .5 0型MEVVA源注入机是北京师范大学低能核物理研究所于九五期间承担的“八六三”计划项目“先进离子束注入技术的工业应用”所取得的成果 。
关键词：MEVVA源 离子注入机 材料表面改性 真空靶室 电源 低能核物理 控制测量系统 
金属等离子体软X光源的研制被引量：1
《原子核物理评论》1997年第3期161-163,共3页张胜基 施修龄 潘世友 彭建华 阚希文 
国家自然科学基金;北京市自然科学基金
一台金属等离子体软Ｘ光源在北京师范大学低能核物理所建成．为该光源配套研制了一台高频、高压恒流充电电源．该光源工作波长为０．８～２ｎｍ，单脉冲能量大于１０Ｊ．
关键词：金属等离子体 软X射线源 恒流电源 
使用平行束软X光透镜的深亚微米X射线光刻被引量：1
《光学精密工程》1995年第4期62-65,共4页颜一鸣 王大椿 赫业军 杨存耿 张胜基 刘安东 
中国航天总公司资助项目
使用本实验室研制的整体平行束软Ｘ光透镜作为准直器和电子枪软Ｘ光源相配，作成了平行束软Ｘ光源，用此平行束软Ｘ光源进行了深亚微米Ｘ射线光刻实验．刻出了１．０μｍ～０．２μｍ的线条．文中对实验装置和光刻结果作了简要的介绍。
关键词：X射线 平行束软X光 透镜 软X射线光刻 
大束斑强流金属离子源
《北京师范大学学报（自然科学版）》1992年第2期148-152,共5页张孝吉 张荟星 周凤生 张胜基 李强 韩主恩 
国家"八六三"计划资助项目
介绍了新研制成的 MEVVA-Ⅱ和 MEVVA-ⅡA 离子源的结构特点和某些实验结果.新源采用大面积引出,引出直径60mm.该源脉冲工作,最大束流占空比为6%,已引出 Mg,Al,Ti,V,Cr,Fe,Ni,Cu,Zn,Y,Zr,Mo,Nb,Sn,W 和 Pb 等金属元素的离子,平均束流强度...
关键词：离子源 真空弧放电 大束斑 
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