曾维强

作品数：1被引量：22H指数：1
导出分析报告
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文主题：变反射率镜直流磁控溅射步进电机反射率基片更多>>
发文领域：理学电子电信更多>>
发文期刊：《中国激光》更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-1
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
基底温度对直流磁控溅射ITO透明导电薄膜性能的影响被引量：22
《中国激光》2008年第12期2031-2035,共5页曾维强 姚建可 贺洪波 邵建达 
用直流磁控溅射法制备透明导电锡掺杂氧化铟(ITO)薄膜,靶材为ITO陶瓷靶,组分为m(In2O3):m(SnO2)=9∶1。运用分光光度计、四探针测试仪研究了基底温度对薄膜透过率、电阻率的影响,并用X射线衍射(XRD)仪对薄膜进行结构分析。计算了晶面间...
关键词：薄膜 ITO透明导电膜 基底温度 直流磁控溅射 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部