云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 田雷

田雷: 作品数：1被引量：5H指数：1; 导出分析报告; 供职机构：哈尔滨工业大学材料科学与工程学院先进焊接与连接国家重点实验室更多>>; 发文主题：类金刚石薄膜筒状聚酯内壁射频功率更多>>; 发文领域：理学化学工程更多>>; 发文期刊：《真空科学与技术学报》更多>>; 所获基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家自然科学基金哈尔滨市科技创新人才研究专项资金更多>>

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射频功率对筒状聚酯内壁类金刚石薄膜结构与性能的影响研究被引量：5: 《真空科学与技术学报》2010年第3期311-315,共5页李景田雷田修波巩春志杨士勤; 国家自然科学基金(50773015);国家自然科学基金(10905013);新世纪优秀人才支持计划(NCET-05-0349);哈尔滨市科技创新人才研究专项基金(2006RFXXS012); 利用偏压/射频耦合等离子体增强化学气相沉积技术在聚对苯二甲酸乙二醇酯(简称聚酯,PET)筒内壁制备了类金刚石薄膜(DLC)。采用X射线光电子能谱、扫描电子显微镜、三维表面轮廓仪、紫外/可见光分光光度计和气体渗透率测试仪考察了射频功...; 关键词：等离子体增强化学气相沉积类金刚石薄膜射频功率气体透过率