胡伟林

作品数:2被引量:9H指数:2
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供职机构:华越微电子有限公司更多>>
发文主题:研磨废水含氟废水微电子工业酸碱废水生产废水处理更多>>
发文领域:环境科学与工程电子电信化学工程更多>>
发文期刊:《工业水处理》《水处理技术》更多>>
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微电子工业生产废水处理及回收利用被引量:6
《工业水处理》2001年第12期40-41,共2页胡伟林 
阐述了微电子工业芯片制造而产生的含氟废水、硅片研磨废水以及纯水处理混床再生所产生的高浓度酸碱废水的处理方法 ,特别对含氟废水的处理进行了大胆的尝试 ,取得了明显的成效。对处理后的合格废水回收用作工艺设备及动力设备的冷却水 。
关键词:含氟废水 研磨废水 酸碱废水 回收利用 微电子工业 废水处理 
反渗透法制取电子级超纯水工艺的改进被引量:3
《水处理技术》2001年第5期296-299,共4页胡伟林 
在现代大型微电子工业用超纯水系统中二级反渗透 + N2 配合真空膜脱气 +三级混床的工艺属当今最新开发的工艺 ,在大型系统中应用很少 ,我们通过三年多的不断摸索、实践和优化改进 ,最终将该套具有技术先进、投资少、结构紧凑、出水量大...
关键词:反渗透 真空膜脱气 混床 电子级 超纯水 工艺改进 电子工业用水 
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