云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 郑海凤

郑海凤: 作品数：1被引量：7H指数：1; 导出分析报告; 供职机构：广东工业大学更多>>; 发文主题：化学机械抛光温度检测超薄CMP在线检测更多>>; 发文领域：金属学及工艺自动化与计算机技术更多>>; 发文期刊：《金刚石与磨料磨具工程》更多>>; 所获基金：国家教育部博士点基金国家自然科学基金广东省自然科学基金更多>>

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不锈钢基板化学机械抛光过程温度研究被引量：7: 《金刚石与磨料磨具工程》2014年第2期20-24,共5页郑海凤魏昕谢小柱杨向东胡伟; 国家自然科学基金项目(No.51175092);教育部高校博士学科专项科研基金项目(No.20104420110002);广东省自然科学基金项目(No 10151009001000036)资助; 鉴于不锈钢化学机械抛光的复杂环境,研究了其抛光过程中温度的变化规律。设计并搭建了过程温度在线检测系统,检测并研究了不同工艺参数与温度之间的关系。实验结果表明:抛光温度随着抛光压力和抛光垫转速的增大而增大,随着抛光液流量的...; 关键词：不锈钢基板化学机械抛光温度检测