杨向东

作品数：12被引量：36H指数：4
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供职机构：广东工业大学更多>>
发文主题：化学机械抛光材料去除率CMP沟槽抛光垫更多>>
发文领域：金属学及工艺机械工程一般工业技术文化科学更多>>
发文期刊：《机床与液压》《机械设计与制造》《制造技术与机床》《润滑与密封》更多>>
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CMP过程中抛光垫表面沟槽对液膜厚度影响研究被引量：3
《制造技术与机床》2015年第5期92-96,共5页钟静 魏昕 谢小柱 杨向东 
国家自然科学基金项目(51175092);教育部高校博士学科专项科研基金项目(20104420110002);广东省自然科学基金项目(10151009001000036);广东省科技计划项目促进科技服务业发展专项计划(2010A040203002);省部产学研结合科技创新平台(2011A091000002)
抛光垫表面沟槽结构是决定抛光液抛光效果的重要因素之一。为了研究抛光垫表面沟槽对化学机械抛光过程的影响,设计并搭建了高速摄影仪在线检测平台,检测并研究了有无沟槽及不同类型沟槽结构对液膜厚度的影响。实验结果表明:抛光垫开槽...
关键词：化学机械抛光 抛光垫沟槽 液膜厚度 
超薄不锈钢基板化学机械抛光运动机理分析被引量：4
《组合机床与自动化加工技术》2015年第5期27-30,共4页杨向东 魏昕 谢小柱 胡伟 
国家自然科学基金项目(51175092);教育部高校博士学科专项科研基金项目(20104420110002);广东省自然科学基金项目(10151009001000036)
从运动学角度出发,根据超薄不锈钢基板与抛光垫化学机械抛光过程中的运动关系,通过分析磨粒在不锈钢基板表面的运动轨迹,揭示了抛光垫和不锈钢基板的转速和转向等参数对超薄不锈钢基板表面材料去除率和非均匀性的影响。分析结果表明:超...
关键词：超薄不锈钢基板 化学机械抛光 材料去除机理 材料去除率 非均匀性 
基于化学机械抛光过程的超薄不锈钢基板表面特性分析被引量：2
《润滑与密封》2015年第4期45-48,53,共5页杨向东 魏昕 谢小柱 胡伟 
国家自然科学基金项目(51175092);教育部高校博士学科专项科研基金项目(20104420110002);广东省自然科学基金项目(10151009001000036)
研究超薄不锈钢基板表面特性有利于了解和分析超薄不锈钢化学机械抛光(CMP)的接触机制及材料去除机制。使用SEM、OLS4000激光共聚焦显微镜、Mahr Surf XR20表面轮廓仪等仪器研究SUS304超薄不锈钢基板的组织结构与表面形貌、表面粗糙度...
关键词：化学机械抛光 材料去除机制 超薄不锈钢基板 表面特性 
不锈钢基板化学机械抛光过程温度研究被引量：7
《金刚石与磨料磨具工程》2014年第2期20-24,共5页郑海凤 魏昕 谢小柱 杨向东 胡伟 
国家自然科学基金项目(No.51175092);教育部高校博士学科专项科研基金项目(No.20104420110002);广东省自然科学基金项目(No 10151009001000036)资助
鉴于不锈钢化学机械抛光的复杂环境,研究了其抛光过程中温度的变化规律。设计并搭建了过程温度在线检测系统,检测并研究了不同工艺参数与温度之间的关系。实验结果表明:抛光温度随着抛光压力和抛光垫转速的增大而增大,随着抛光液流量的...
关键词：不锈钢基板 化学机械抛光 温度检测 
接触式数控鞋楦扫描机结构设计
《组合机床与自动化加工技术》2013年第11期133-135,140,共4页丁立刚 杨向东 吴磊 
通过分析国内外相关设备的结构形式及其性能特点,根据接触式数控鞋楦扫描机的功能要求,设计了数控鞋楦扫描机床总体结构;文章重点分析了其定位与旋转机构、接触式扫描机构、拖板驱动机构等机床关键部件的结构组成、功能作用及设计要点,...
关键词：鞋楦 数控鞋楦扫描机 逆向工程 结构设计 
柔性产品用不锈钢箔柔度测试装置设计与实现
《机床与液压》2013年第16期162-164,180,共4页朱亚峰 杨向东 
超薄不锈钢箔是新一代薄膜太阳能电池、OLED显示器及纸式电子显示产品等柔性产品的基材。针对各种柔性产品用不锈钢箔柔性性能差异可能导致的产品缺陷,提出一种利用CNC变频可控调节测试思想,通过设计机械装置及电气控制回路,实现了柔性...
关键词：不锈钢箔 柔度 测试装置 
不锈钢基板的化学抛光研究被引量：4
《机械设计与制造》2013年第1期258-260,共3页邹微波 魏昕 杨向东 谢小柱 
国家自然科学基金(51175092);教育部高校博士学科专项科研基金(20104420110002);广东省自然科学基金(10151009001000036)
不锈钢基板是下一代柔性显示器的理想选择,对其表面加工是世界各国显示器厂商争相研究攻克的技术。根据不锈钢基板的主要化学成分,提出了化学抛光液的配制原则。通过测量不锈钢基板表面粗糙度和失重率的变化,研究不同抛光液组份对抛光...
关键词：不锈钢基板 化学抛光 表面粗糙度 失重率 
新型抛光垫沟槽及其在化学机械抛光中的作用研究进展被引量：7
《金刚石与磨料磨具工程》2012年第2期77-81,共5页方照蕊 魏昕 杨向东 邹微波 
国家自然科学基金项目(No.51175092);教育部高校博士学科专项科研基金项目(No.20104420110002);广东省自然科学基金项目(No.10151009001000036)资助
化学机械抛光过程中,抛光垫性能是影响抛光质量和抛光效率的重要因素之一,而抛光垫的性能又受其表面沟槽结构形状的影响。在介绍几种常见抛光垫沟槽结构形状的特性及其作用研究的基础上,介绍了新型抛光垫沟槽的研究进展,总结了几种新型...
关键词：化学机械抛光 抛光垫 表面沟槽 
化学机械抛光过程抛光液作用的研究进展被引量：14
《金刚石与磨料磨具工程》2012年第1期53-56,59,共5页邹微波 魏昕 杨向东 谢小柱 方照蕊 
国家自然科学基金项目(NO.51175092);教育部高校博士学科专项科研基金项目(NO.20104420110002);广东省自然科学基金项目(NO.10151009001000036)资助
化学机械抛光(CMP)已成为公认的纳米级全局平坦化精密超精密加工技术。抛光液在CMP过程中发挥着重要作用。介绍了CMP过程中抛光液的作用的研究进展,综合归纳了抛光液中各组分的作用,为抛光液的研制和优化原则的制定提供了参考依据。
关键词：化学机械抛光(CMP) 抛光液 材料去除率 表面质量 
GSFD4050型超高速精密雕铣加工中心的研制被引量：1
《机电工程技术》2010年第6期90-93,124,共5页杨志勇 周华 杨向东 
介绍了GSFD4050型超高速精密雕铣加工中心的机械结构、特点及其关键技术,通过建立超高速加工中心机床的三维有限元模型,利用有限元分析软件对机床进行动力学分析,找出影响整机动态性能的薄弱环节并提出结构设计修改方向,从而使机床具有...
关键词：超高速加工 加工中心 动态特性 关键技术 研制 
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