魏豪明

作品数：3被引量：24H指数：2
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供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文主题：光学检测测量误差分析误差分析绝对测量面形检测更多>>
发文领域：机械工程理学更多>>
发文期刊：《激光与光电子学进展》《红外与激光工程》更多>>
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采用奇偶函数法的平面面形绝对测量技术仿真分析被引量：7
《红外与激光工程》2012年第2期500-505,共6页贾辛 邢廷文 魏豪明 李云 
国家自然科学基金(10874181)
随着现代工业和科学技术的飞速发展,特别是近代大规模集成电路技术的不断提高,对系统精度的要求日益提高。在光刻系统中,越来越短的特征尺寸要求我们使用更高精度的光刻物镜。在这之前我们需要更高精度的检测技术来满足加工及系统集成...
关键词：光学检测 绝对测量 奇偶函数 面形检测 
632.8nm高精度移相菲佐干涉仪测量误差分析被引量：15
《激光与光电子学进展》2010年第4期60-67,共8页魏豪明 邢廷文 李云 刘志祥 
为了满足高精度光学系统对光学元件纳米级的检测精度要求,提出了一种理论可实现纳米级测量的632.8nm移相菲佐干涉仪的设计方案。通过对检测凹面和凸面的632.8nm移相菲佐干涉仪的基本结构和测量原理的分析,指出影响干涉仪测量精度的几种...
关键词：干涉测量 移相菲佐干涉仪 光学检测 误差分析 纳米检测 
移相术中相移算法的窗函数整数近似方法分析被引量：2
《激光与光电子学进展》2009年第10期100-105,共6页魏豪明 邢廷文 冯建美 
用离散傅里叶分析的方法将相移过程描述为频谱域滤波的过程,阐明了相移算法的窗函数整数近似法原理。由于相移的有限性会带来频谱泄露的问题,提出了好的移相算法窗函数应该满足主瓣窄、旁瓣小的观点,并给出了根据窗函数整数近似方法设...
关键词：光学测量 移相算法 振动误差 移相误差 窗函数 
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