刘志祥

作品数：11被引量：62H指数：6
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供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文主题：波像差投影物镜光学系统大数值孔径像差更多>>
发文领域：机械工程电子电信自动化与计算机技术理学更多>>
发文期刊：《红外与激光工程》《半导体光电》《光学精密工程》《应用光学》更多>>
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大数值孔径物镜的波像差测量及其特殊问题被引量：2
《光学精密工程》2016年第3期482-490,共9页刘志祥 邢廷文 蒋亚东 吕保斌 
国家科技重大专项资助项目(No.2009ZX02204)
设计了基于振幅型棋盘光栅的二维剪切干涉仪,用于测量大数值孔径(NA)物镜的波像差。研究了棋盘光栅剪切干涉仪的基本原理,分析了大数值孔径物镜波像差测量时涉及的几个特殊问题。首先,根据棋盘光栅的远场衍射函数分析了棋盘光栅的衍射...
关键词：波像差测量 剪切干涉仪 大数值孔径(NA)物镜 光刻物镜 
一维相移剪切干涉仪的调制度函数分析
《激光与光电子学进展》2015年第11期125-132,共8页刘志祥 邢廷文 蒋亚东 吕保斌 
为了分析一维相移剪切干涉仪中调制度的变化规律和影响。研究了一维光栅相移剪切干涉仪的基本原理,推导了干涉光强公式和光强调制度函数。通过将泽尼克单项像差代入到调制度函数因子,分析了泽尼克像差、剪切比对调制度函数的影响,发现...
关键词：测量 相移剪切干涉仪 调制度函数 波像差 
矩形孔径上折射率均匀性数据拟合研究被引量：1
《光电工程》2011年第11期146-150,共5页廖志远 邢廷文 刘志祥 
泽尼克圆多项式在圆形光瞳的正交性和能够代表经典像差而被广泛应用到波前分析中,用泽尼克圆多项式作为矩形光瞳基底函数,通过推导得到在矩形光瞳上正交的多项式。这个在矩形光瞳上正交的多项式不仅是唯一的,而且也能够表示经典像差,就...
关键词：折射率均匀性 矩形光瞳 正交多项式 数据拟合 
632.8nm高精度移相菲佐干涉仪测量误差分析被引量：15
《激光与光电子学进展》2010年第4期60-67,共8页魏豪明 邢廷文 李云 刘志祥 
为了满足高精度光学系统对光学元件纳米级的检测精度要求,提出了一种理论可实现纳米级测量的632.8nm移相菲佐干涉仪的设计方案。通过对检测凹面和凸面的632.8nm移相菲佐干涉仪的基本结构和测量原理的分析,指出影响干涉仪测量精度的几种...
关键词：干涉测量 移相菲佐干涉仪 光学检测 误差分析 纳米检测 
位相复原技术在光学成像质量测评中的应用被引量：8
《光学精密工程》2009年第12期2912-2918,共7页马冬梅 陈土泉 刘志祥 聂真威 
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所三期创新实验室改造项目
光学系统波像差是表征光学系统成像质量的重要指标之一。基于信息光学基础理论,采用傅里叶变换和迭代算法计算分析了光学成像系统的星点图像(光强点扩散函数,PSF),实现了对光学成像系统位相的复原,获得了波像差信息。论述了有关的理论...
关键词：信息光学 傅里叶变换 点扩散函数 位相复原 迭代算法 波像差 
基于DDE接口技术的计算机辅助装调方法被引量：6
《应用光学》2009年第3期486-490,共5页刘志祥 马冬梅 田园 卞江 
根据波前拟合和计算机辅助装调的算法原理,基于动态数据交换(DDE)接口技术和泽尼克多项式拟合技术,采用阻尼最小二乘法,运用MATLAB和ZEMAX联合计算实现了计算机辅助装调。利用DDE接口在ZEMAX和MATLAB之间进行通讯,并用MATLAB编写了能够...
关键词：应用光学 计算机辅助装调 泽尼克多项式 DDE接口 ZEMAX MATLAB 
五角棱镜的三维抖动及制造角差对转向角的影响被引量：2
《光学仪器》2009年第2期42-47,共6页刘志祥 马冬梅 卞江 崔宇 
根据旋转变换矩阵和光线矢量追迹理论,运用MatLab编写通用的五角棱镜的光线矢量追迹函数及相关分析程序,详尽、全面地分析了五角棱镜的三维抖动及制造角差对其转向角的影响。分析结果表明:制造角差只与沿扫描方向的转向角偏差成线性关系...
关键词：光学测量 五角棱镜 转向角 旋转变换矩阵 光线矢量追迹 MATLAB 
五角棱镜扫描系统中调整误差及制造角差的影响分析被引量：12
《光学精密工程》2008年第12期2517-2523,共7页马冬梅 刘志祥 马磊 卞江 
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所二期创新工程资助项目
为了精确测量光学表面的表面斜率,从而实现光学表面面形的高精度测量,全面分析了五角棱镜扫描系统中的调整误差及五角棱镜的制造角差对测量光束的指向精度和被测面表面斜率测量精度的影响。根据旋转变换矩阵和光线矢量追迹理论,运用MAT...
关键词：光学测量 五角棱镜扫描系统 误差分析 光线矢量追迹 MATLAB 
红外焦平面阵列无效像元检测技术研究被引量：9
《半导体光电》2008年第2期184-187,共4页胡明鹏 马冬梅 刘志祥 马磊 
中科院长春光机所青年创新基金项目(O51Y22P050)
提出了一种基于噪声等效温差(NETD)和灰度最小方差的红外焦平面阵列无效像元检测方法。无效像元包括过热像元和死像元。首先利用三维噪声模型建立图像数据集,然后分别判断过热像元和死像元。通过像元的噪声电压值与10倍NETD的比较来实...
关键词：红外焦平面阵列 无效像元 噪声等效温差 三维噪声模型 3σ原则 灰度最小方差 
凝视型红外成像系统中冷像的仿真分析被引量：7
《红外与激光工程》2008年第4期702-705,共4页刘志祥 马冬梅 胡明鹏 马磊 
在凝视型红外成像系统中,虽然焦平面阵列的非均匀性校正可以消除冷像的影响,但是校正后工作条件发生改变时,冷像变化的影响会显现出来,因此,在设计凝视型红外成像系统时冷像的分析显得很重要。通过分析红外光学系统中冷像形成的原因,根...
关键词：凝视型红外成像系统 冷像等效温差 ZEMAX MATLAB仿真 
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