剪切干涉仪

作品数：76被引量：166H指数：7
导出分析报告
相关领域：机械工程电子电信更多>>
相关作者：王向朝唐锋刘立人白清兰相里斌更多>>
相关机构：中国科学院中国科学院上海光学精密机械研究所中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院大学更多>>
相关期刊：更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家科技重大专项国家高技术研究发展计划天津市科技支撑重点项目更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
基于剪切干涉仪和残差网络模型的光学轨道角动量的探测
《激光与光电子学进展》2024年第23期175-182,共8页柳冠华 周婧雯 汤继鸿 夏勇 
国家自然科学基金(12174115)。
涡旋光束的轨道角动量(OAM)在自由空间光通信中具有重要的应用前景。涡旋光束在传播过程中,大气湍流会影响对OAM模式的探测精度。提出并验证了在大气湍流条件下利用剪切干涉仪和残差网络模型(ResNet-50)来探测OAM模式。推导了经过剪切...
关键词：涡旋光束 轨道角动量 剪切干涉仪 空间光调制器 机器学习 
Ronchi剪切干涉仪高精度相位提取及误差分析
《中国激光》2024年第11期537-549,共13页常春超 李中梁 卢云君 王向朝 
中国科学院青年创新促进会项目;中国科学院战略性先导科技专项(XDA0380000)。
双光栅Ronchi剪切干涉是一种基于瞳面测量的波像差检测技术,该技术具有无需参考面、共光路测量以及结构简单、易于集成等优点,适用于光刻投影物镜波像差的在线检测。相位提取是采用该技术进行波像差检测的重要步骤,直接影响最终的测量...
关键词：干涉测量 Ronchi剪切干涉 相位提取 波像差检测 光刻投影物镜 剪切率 
中心不重合径向剪切干涉迭代波前重构算法仿真分析
《应用光学》2024年第1期118-125,共8页杜旭升 白福忠 徐永祥 王建新 
国家自然科学基金(51765054,62165011);内蒙古自治区自然科学基金(2022MS0601);内蒙古自治区科技计划项目(2021GG0263)。
径向剪切干涉测量时经常会出现扩束与缩束光波中心不重合情况,传统波前重构算法会导致较大重构误差,其应用受到挑战。推导了中心不重合径向剪切干涉迭代波前重构算法,仿真分析了组合像差、单阶Zernike像差、中心偏移量大小及其计算误差...
关键词：径向剪切干涉仪 迭代波前重构 中心不重合径向剪切 算法仿真 
激光剪切干涉系统的设计与应用
《光电子．激光》2023年第12期1249-1255,共7页彭子明 吴义云 郑梦超 李国友 吴建光 邹勇 
安徽高校自然科学基金重点项目(KJ2021A0388);安徽工业大学国家级大学生创新创业训练项目(202210360090,202210360084);安徽工业大学省级大学生创新创业训练项目(S202110360324)和安徽工业大学实验技术开发基金项目(10)资助项目。
针对以光相干为基础的无损、非接触测量研究,利用沃拉斯顿棱镜(Wollaston prism, WP)作为剪切元件,设计了共光路激光剪切干涉的方法并组建系统。本文详细分析了其各个部件对所得干涉条纹成像质量的影响,得到了获取最优干涉条纹所需要满...
关键词：干涉条纹 剪切干涉仪 沃拉斯顿棱镜(WP) 流场 温度场 
四波前横向剪切干涉仪的关键技术研究被引量：5
《光学学报》2023年第15期245-255,共11页刘克 张孝天 钟慧 何飞 刘书豪 李艳秋 
国家自然科学基金(61975013,62175014);国家科技重大专项(2017ZX02101006-001)。
四波前横向剪切干涉(QWLSI)是一种精度高、动态范围大、分辨率高、抗干扰能力强的瞬态波前检测技术。本文结合国内外相关研究工作,重点阐述了本课题组在分束器件设计、多方向横向剪切干涉图处理、测量误差校准等QWLSI的关键技术研究方...
关键词：光学检测 剪切干涉 衍射光栅 相位提取 波前重建 误差校准 
基于径向剪切干涉仪的三维位移测量技术被引量：2
《物理学报》2021年第7期54-62,共9页王佳 刘荣明 王佳超 吴慎将 
国家自然科学基金(批准号:61701385);装备预先研究领域基金(批准号:61406190121);预研重点实验室基金(批准号:6142602200407)资助的课题.
本文提出一种基于双圆光栅径向剪切干涉仪的三维位移测量方法,其测量原理是径向剪切干涉仪所形成的莫尔条纹不仅由二维平面内位移决定,轴向位移会在+1和–1级莫尔条纹之间产生一个特定的相移.首先,基于标量衍射理论对双圆光栅径向剪切...
关键词：三维位移测量 径向剪切干涉仪 莫尔条纹 圆光栅 
平行平板横向剪切干涉仪波前重建精度的研究被引量：2
《光电子．激光》2020年第9期921-927,共7页周健彪 杨子晗 梁艳梅 
国家自然科学基金(61875092,11374167);天津市科技支撑重点项目(17YFZCSY00740)资助项目。
在基于平行平板双光路横向剪切干涉仪中,如果两个方向的平行平板之间存在角度误差,将会使得两个方向的剪切干涉图的剪切方向不正交,最终影响波前测量的准确度。本文通过仿真实验研究了两个方向平行平板之间不同大小的角度误差对波前重...
关键词：横向剪切干涉仪 平行平板 角度误差 波前重建 
光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法被引量：2
《中国激光》2018年第8期169-174,共6页张璐 向阳 
国家重大科技专项(2009ZX02005)
针对光栅横向剪切干涉仪研究了旋转绝对检测的方法,并用前36项Zernike多项式标定出剪切装置的系统误差非对称项。研究结果表明,将面形检测的绝对算法应用于检测镜头系统波像差,在干涉仪系统误差消除后可以达到相对理想的检测精度。实验...
关键词：测量 光刻镜头 绝对检测 光栅横向剪切干涉仪 系统波像差 
大数值孔径物镜的波像差测量及其特殊问题被引量：2
《光学精密工程》2016年第3期482-490,共9页刘志祥 邢廷文 蒋亚东 吕保斌 
国家科技重大专项资助项目(No.2009ZX02204)
设计了基于振幅型棋盘光栅的二维剪切干涉仪,用于测量大数值孔径(NA)物镜的波像差。研究了棋盘光栅剪切干涉仪的基本原理,分析了大数值孔径物镜波像差测量时涉及的几个特殊问题。首先,根据棋盘光栅的远场衍射函数分析了棋盘光栅的衍射...
关键词：波像差测量 剪切干涉仪 大数值孔径(NA)物镜 光刻物镜 
《光学与光电技术》第十三卷(2015年)总目次
《光学与光电技术》2015年第6期101-106,共6页
关键词：光电技术 激光强度 参量振荡器 INFRARED 横向剪切干涉仪 半导体激光器 光纤光栅传感器 全球 
全选清除导出
共8页<12345678>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部