横向剪切干涉仪

作品数：27被引量：100H指数：6
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相关作者：白清兰相里斌李立波孙剑冯玉涛更多>>
相关机构：中国科学院中国科学院上海光学精密机械研究所中国科学院长春光学精密机械与物理研究所西安工业大学更多>>
相关期刊：《长春理工大学学报（自然科学版）》《光学精密工程》《光学学报》《光子学报》更多>>
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四波前横向剪切干涉仪的关键技术研究被引量：5
《光学学报》2023年第15期245-255,共11页刘克 张孝天 钟慧 何飞 刘书豪 李艳秋 
国家自然科学基金(61975013,62175014);国家科技重大专项(2017ZX02101006-001)。
四波前横向剪切干涉(QWLSI)是一种精度高、动态范围大、分辨率高、抗干扰能力强的瞬态波前检测技术。本文结合国内外相关研究工作,重点阐述了本课题组在分束器件设计、多方向横向剪切干涉图处理、测量误差校准等QWLSI的关键技术研究方...
关键词：光学检测 剪切干涉 衍射光栅 相位提取 波前重建 误差校准 
平行平板横向剪切干涉仪波前重建精度的研究被引量：2
《光电子．激光》2020年第9期921-927,共7页周健彪 杨子晗 梁艳梅 
国家自然科学基金(61875092,11374167);天津市科技支撑重点项目(17YFZCSY00740)资助项目。
在基于平行平板双光路横向剪切干涉仪中,如果两个方向的平行平板之间存在角度误差,将会使得两个方向的剪切干涉图的剪切方向不正交,最终影响波前测量的准确度。本文通过仿真实验研究了两个方向平行平板之间不同大小的角度误差对波前重...
关键词：横向剪切干涉仪 平行平板 角度误差 波前重建 
光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法被引量：2
《中国激光》2018年第8期169-174,共6页张璐 向阳 
国家重大科技专项(2009ZX02005)
针对光栅横向剪切干涉仪研究了旋转绝对检测的方法,并用前36项Zernike多项式标定出剪切装置的系统误差非对称项。研究结果表明,将面形检测的绝对算法应用于检测镜头系统波像差,在干涉仪系统误差消除后可以达到相对理想的检测精度。实验...
关键词：测量 光刻镜头 绝对检测 光栅横向剪切干涉仪 系统波像差 
《光学与光电技术》第十三卷(2015年)总目次
《光学与光电技术》2015年第6期101-106,共6页
关键词：光电技术 激光强度 参量振荡器 INFRARED 横向剪切干涉仪 半导体激光器 光纤光栅传感器 全球 
基于四波前横向剪切干涉仪的激光波前测试技术研究被引量：1
《光学与光电技术》2015年第6期63-66,共4页时凯 苏俊宏 白兆峰 
陕西省教育厅重点实验室科研计划(15JS037)资助项目
四波前横向剪切干涉仪的出现为精确、快速地测试激光波前信息提供了很好的研究方法。概述了四波前横向剪切干涉仪的测试原理,对532nm半导体激光器和ZYGO-GPI干涉仪标准激光源的光束波前进行测试,得到平均椭偏率分别为0.977和0.900。通...
关键词：剪切 波前 二维光栅 哈特曼传感器 干涉 
十三步光栅横向剪切干涉相位复原算法被引量：5
《中国激光》2014年第5期178-181,共4页方超 向阳 
国家重大科技专项(2009ZX02005)
光栅横向剪切干涉仪能够实现超高精度检测光学系统的波像差,是当前光刻镜头研发的重要组成内容之一。零级串扰和相移误差是影响光栅剪切干涉仪检测精度的两个主要因素,为此,提出了一种十三步光栅剪切干涉相位复原算法,在消除零级串扰的...
关键词：测量 横向剪切干涉仪 相移算法 相位复原 
光栅横向剪切干涉仪及其系统误差分析被引量：11
《中国激光》2014年第5期195-204,共10页李杰 唐锋 王向朝 戴凤钊 冯鹏 
国家自然科学基金重点项目(60938003;61205102;61275207)
在分析光栅横向剪切干涉仪典型结构及系统参数配置,给出其适用范围的基础上,系统研究了该干涉仪结构最显著的系统误差:几何光程误差和探测器倾斜误差。采用Zernike多项式给出波前重建前后系统误差项的解析表达式;对其大小与被测数值孔径...
关键词：测量 光栅横向剪切干涉 系统误差 ZERNIKE多项式 光刻投影物镜 
可用于小口径光束波前检测的横向剪切干涉仪被引量：5
《中国激光》2014年第1期164-167,共4页刘蕾 曾爱军 朱玲琳 黄惠杰 
国家国际科技合作项目(2011DFR10010);国家科技重大专项(2011ZX02402)
提出了一种可用于小口径光束波面检测的横向剪切干涉仪。该干涉仪由偏振分光棱镜、光轴与其表面平行的晶体平板、1/4波片、反射镜及CCD构成。被测光束由偏振分光棱镜进行透射起偏和反射检偏,利用反射镜的反射两次经过晶体平板、1/4波片...
关键词：相干光学 波面检测 横向剪切 干涉仪 等光程差 
基于光栅衍射的横向剪切干涉仪精密相移系统设计被引量：15
《电子测量与仪器学报》2013年第11期1099-1104,共6页于长淞 齐克奇 张春雷 向阳 
国家科技重大专项(2009ZX02202)资助项目
基于光栅衍射的横向剪切干涉仪具有很高的检测精度,为满足相移的需要,光栅移相装置需要拥有较大的行程,是干涉仪的关键器件之一。根据干涉仪需求设计了基于柔性铰链及桥式放大机构并利用压电陶瓷驱动的光栅移相装置,利用有限元分析方法...
关键词：剪切干涉 光栅移相 压电陶瓷 有限元 
数字横向剪切干涉仪相移技术被引量：5
《光学精密工程》2013年第9期2244-2251,共8页何煦 向阳 
科技部重大专项基金资助项目(No.2009ZX02202-005)
由于相移式横向剪切干涉仪相移单元的分辨率、精度等参数直接影响其测试物镜波像差的精度,本文根据相移式横向剪切干涉测试原理,设计了采用宏微复合运动模式的相移组件,该相移组件可在25 mm行程内实现纳米级的相移运动。重点分析了柔性...
关键词：光学测量 波像差 相移式干涉仪 剪切干涉仪 柔性铰链 
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