李杰

作品数：5被引量：25H指数：3
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供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文主题：波像差投影物镜剪切干涉剪切干涉仪子孔径拼接更多>>
发文领域：理学机械工程文化科学自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《中国激光》《光学学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金上海市自然科学基金更多>>
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基于Ptychography的极紫外光刻投影物镜波像差检测技术被引量：1
《光学学报》2016年第10期115-129,共15页方伟 唐锋 王向朝 朱鹏辉 李杰 孟泽江 张恒 
国家自然科学基金重点项目(61205102;61275207;61405210;61474129);中国科学院青年创新促进会项目
Ptychography是一种基于扫描式相干衍射成像的相位恢复技术,实验装置简单,抗干扰能力强。将Ptychography技术用于投影物镜波像差的检测,并分析了检测不同数值孔径投影物镜波像差所采用的光场传播公式、离散化条件及实验架构。数值仿真...
关键词：测量 极紫外光刻 波像差检测 PTYCHOGRAPHY PIE 相位恢复 投影物镜 
一种降低平面子孔径拼接累积误差的方法被引量：6
《中国激光》2015年第7期229-236,共8页李永 唐锋 卢云君 王向朝 郭福东 李杰 吴飞斌 
国家自然科学基金(61205102;61275207;61405210;61474129);上海市自然科学基金项目(14ZR1444900)
干涉仪参考镜面形离焦误差难以精确标定,是导致拼接累积效应、制约平面子孔径拼接系统检测精度的主要因素。推导了参考镜离焦与拼接累积误差、拼接次数间的定量表达式,基于该表达式在拼接过程中标定并去除参考镜离焦误差,降低拼接累积...
关键词：测量 子孔径拼接干涉测量 误差累积 离焦 绝对检验 
Ronchi相移剪切干涉仪及其相位提取误差分析被引量：7
《光学学报》2015年第6期134-144,共11页吴飞斌 唐锋 王向朝 李杰 李永 
国家自然科学基金(61275207;61205102;61474129;61405210);上海市自然科学基金(14ZR1444900)
在分析Ronchi相移剪切干涉仪典型系统参数的基础上,系统研究了该干涉仪相位提取精度的主要影响因素。结合传统的五步相移算法,采用所提出的八步与十步相移算法,对Ronchi相移剪切干涉仪的相位提取误差进行理论分析和仿真计算。仿真结果说...
关键词：测量 干涉测量 Ronchi相移剪切干涉仪 波像差检测 相位提取误差 光刻投影物镜 
Ronchi剪切干涉光刻投影物镜波像差检测技术研究被引量：2
《中国激光》2015年第3期283-290,共8页吴飞斌 唐锋 王向朝 李杰 李思坤 
国家自然科学基金(61275207;61205102;61474129;61405210);上海市自然科学基金(14ZR1444900)
Ronchi剪切干涉采用扩展光源调制光场空间相干性,具有干涉仪结构简单、共光路、零条纹检测等优点,适合用于光刻机投影物镜波像差原位检测。基于Ronchi剪切干涉的投影物镜波像差检测技术及系统,根据光栅衍射和空间相干性理论推导了Ronch...
关键词：测量 Ronchi剪切干涉 相位提取 波像差检测 光刻投影物镜 
光栅横向剪切干涉仪及其系统误差分析被引量：11
《中国激光》2014年第5期195-204,共10页李杰 唐锋 王向朝 戴凤钊 冯鹏 
国家自然科学基金重点项目(60938003;61205102;61275207)
在分析光栅横向剪切干涉仪典型结构及系统参数配置,给出其适用范围的基础上,系统研究了该干涉仪结构最显著的系统误差:几何光程误差和探测器倾斜误差。采用Zernike多项式给出波前重建前后系统误差项的解析表达式;对其大小与被测数值孔径...
关键词：测量 光栅横向剪切干涉 系统误差 ZERNIKE多项式 光刻投影物镜 
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