云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 方伟

方伟: 作品数：1被引量：1H指数：1; 导出分析报告; 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>; 发文主题：波像差投影物镜点光源测试技术二维阵列更多>>; 发文领域：理学机械工程更多>>; 发文期刊：《光学学报》更多>>; 所获基金：国家自然科学基金更多>>

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基于Ptychography的极紫外光刻投影物镜波像差检测技术被引量：1: 《光学学报》2016年第10期115-129,共15页方伟唐锋王向朝朱鹏辉李杰孟泽江张恒; 国家自然科学基金重点项目(61205102;61275207;61405210;61474129);中国科学院青年创新促进会项目; Ptychography是一种基于扫描式相干衍射成像的相位恢复技术,实验装置简单,抗干扰能力强。将Ptychography技术用于投影物镜波像差的检测,并分析了检测不同数值孔径投影物镜波像差所采用的光场传播公式、离散化条件及实验架构。数值仿真...; 关键词：测量极紫外光刻波像差检测 PTYCHOGRAPHY PIE 相位恢复投影物镜