黄炳忠

作品数:3被引量:1H指数:1
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供职机构:中山大学物理科学与工程技术学院物理系更多>>
发文主题:光学性质PTSIPT硅化物步进电机更多>>
发文领域:电子电信理学自动化与计算机技术更多>>
发文期刊:《Journal of Semiconductors》《仪器仪表学报》更多>>
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用椭偏光谱法测量很薄固体膜的光性
《分析测试通报》1989年第2期1-5,共5页黄炳忠 陈土培 
本文讨论了利用棉偏光谱法测量很薄固体膜的光性的原理和方法,包括椭偏计算模型的建立、模型的合适性等问题,考察了环境介质-薄膜-衬底三根系统和环境介质-薄膜-界面过渡层-衬底四相系统,并引入了一种简化椭偏计算的方法。此外,本文也...
关键词:薄膜 椭偏光谱法 光学性质 
Pt-Si界面的椭偏光谱响应及PtSi的光学性质被引量:1
《Journal of Semiconductors》1989年第1期24-30,共7页陈土培 黄炳忠 
本工作利用椭偏光谱法研究Pt-Si系统的界面状况,结果指出,未经任何热处理的Pt/n-Si样品的界面上存在着一性质上异于Si衬底和Pt膜的界面层,但经700℃退火(固相反应)形成硅化物PtSi后,原来的界面层消失.另外,由椭偏光谱测量,本工作获得了P...
关键词:椭偏光谱法 界面 硅化物 光学性质 
自动椭偏光谱仪
《仪器仪表学报》1986年第4期411-417,共7页冯洪安 黄炳忠 
设计了一台由微型计算机作实时控制及数据处理的自动椭偏光谱仪。它以中断为核心,把过程的自动控制、数据采集和处理结合在一起。利用这台设备测量了ITO的色散关系,并把所得到的结果和由其它方法测量得到的结果作了比较。
关键词:微型计算机 光栅单色仪 数据采集 实时控制 设备测量 步进电机 光谱范围 色散关系 检偏器 测量波长 
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