硅化物

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相关领域:电子电信金属学及工艺一般工业技术更多>>
相关作者:罗军赵超钟汇才王华明李俊峰更多>>
相关机构:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司中芯国际集成电路制造(北京)有限公司上海华力微电子有限公司中国科学院微电子研究所更多>>
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ZrC/Mo-Si系金属硅化物纳米复合粉体的直接熔盐电化学合成
《粉末冶金技术》2025年第2期163-169,179,共8页覃世玉 宋伟豪 刘红霞 马文 白玉 
内蒙古自治区直属高校基本科研业务费资助项目(JY20220265);内蒙古自治区高等学校碳达峰碳中和研究专项资助项目(STZX202227);内蒙古自治区自然科学基金资助项目(2023MS05020)。
为实现ZrC/Mo-Si系金属硅化物复合材料的短流程、低能耗、低成本制备,以ZrSiO_(4)、MoO_(3)和C为原料,采用熔盐电化学法一步制备出了ZrC/Mo-Si系金属硅化物纳米复合粉体,并研究了固体阴极制备工艺、碳含量(质量分数)和碳源类型对电化学...
关键词:熔盐电化学 金属硅化物 复合材料 纳米粉体 
钼合金涂层在1200℃下的氧化行为
《粉末冶金技术》2025年第1期123-133,共11页周红灯 张玉玲 夏春林 田青超 
采用涂覆法在TZC钼合金表面制备了三种不同涂层A涂层、B涂层、C涂层。A涂层含有硼硅酸盐玻璃,B涂层在A涂层的基础上掺杂质量分数为15%的MoSi_(2)粉,C涂层在B涂层的基础上添加少量的Al粉。使用加热炉、X射线衍射分析仪及扫描电镜等研究...
关键词:钼基合金 TZC 抗氧化 涂层 硅化物 
高铌TiAl合金表面硅化物涂层的组织结构及其宽温域摩擦学性能
《复合材料学报》2024年第11期6242-6250,共9页李涌泉 郝清锐 王存喜 刘广君 高阳 李轩 
北方民族大学中央高校基本科研业务费(2023ZRLG04);国家自然科学基金(52161009);过程装备与控制工程四川省高校重点实验室项目(GK202309);宁夏复合制造系统工程技术研究中心(2023GCJS008)。
为了改善TiAlNb金属间化合物抗氧化耐磨损性能不足的问题,通过扩散渗法在TiAlNb9合金表面制备了双稀土改性的硅化物涂层,并对其微观结构与相组成进行了分析表征,对比研究了TiAlNb9基体和Si-Ce-Y共渗层与WC球在宽温域下的摩擦磨损行为。...
关键词:TiAlNb9合金 Si-Ce-Y共渗 微观组织 磨损率 磨损机制 
Si元素对Ti6246合金显微组织和力学性能的影响
《钛工业进展》2024年第5期1-8,共8页周涛 朱绍祥 王清江 
为了提高航空发动机整体叶盘用Ti6246合金的力学性能,利用扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)等检测和分析技术,研究了Si元素对Ti6246合金力学性能及硅化物析出的影响,并结合JMatpro软件分析了硅化物的成分、结构及析出机制。结...
关键词:高温钛合金 结构分析 Ti6246合金 硅化物 力学性能 
Ta12W合金料浆烧结法制备高温抗氧化涂层及组织形成
《化学与粘合》2024年第5期436-438,473,共4页白晓东 唐晓欢 王强 赵刚 
钽钨合金具有优异的高温力学性能、优良的耐腐蚀性能及稳定的物理化学性质,被广泛应用于电子元器件、武器制造及航天航空领域高温结构材料。通过料浆烧结法在Ta12W合金上制备Si-Cr-Mo-Zr-Hf涂层,并对该涂层在1 900℃及1 800℃大气中的...
关键词:Ta12W合金 硅化物涂层 高温抗氧化 
新型Nb-W-Ta合金用高温抗氧化涂层的制备
《化学与粘合》2024年第5期439-442,共4页刘尖 崔健 赵刚 白晓东 
随着航空航天技术的高速发展,对航天发动机用高温合金材料高温力学性能的强度要求也在不断提高,伴随高温力学性能强度更优的新型Nb-W-Ta合金的研制开发成功,研究该合金适用的高温抗氧化防护涂层,就显得尤为重要。应用浆料熔烧法制备硅...
关键词:硅化物涂层 高温抗氧化 抗热震 Nb-W-Ta合金 
高温合金电子束重熔硅化物涂层的抗氧化腐蚀性能
《热处理》2024年第5期30-32,37,共4页郑坤 孙能涵 邱天娟 唐汉唐 何朋奇 
采用料浆烧结法在高温合金试样上喷涂硅化物涂层,随后对涂层进行了电子束重熔。对涂层分别进行了24 h的常温和1 800℃盐雾腐蚀试验,检测了涂层的表面和截面微观结构。结果表明:涂层由重熔层(外层)、主体层(中间层)和扩散层(内层)组成;...
关键词:高温合金 涂层 微观结构 氧化 盐雾腐蚀试验 
28nm HKMG技术中镍硅化物异常生长引发的失效
《半导体技术》2024年第9期838-843,共6页方精训 姜兰 
针对28nm高介电常数金属栅(HKMG)技术研发初期出现的镍硅化物异常导致的失效进行了深入探究。发现第二道镍硅化物激光退火工艺对产品良率有重要影响。对裸晶内失效位置进行透射电子显微镜(TEM)检测,结果表明失效区域均为PMOS器件的SiGe...
关键词:镍硅化物 良率 激光退火 热预算 高介电常数金属栅(HKMG) 
近α型高温钛合金长期时效过程中的组织演化行为
《材料热处理学报》2024年第7期53-59,共7页王佳晨 王磊 宋秀 刘杨 朱旭晖 
辽宁省自然科学计划基金面上项目(2022-MS-113);中央高校基本科研业务专项资金资助(N2302005)。
利用光学显微镜、扫描电镜和透射电镜研究了Ti600高温钛合金在550℃长期时效至2000 h过程中的微观组织演化行为与机理。结果表明:Ti600合金在550℃长期时效下稀土相较为稳定,但α_(2)相和硅化物S_(2)相析出并逐渐长大。0~500 h的时效初...
关键词:近Α钛合金 热处理 长期时效 硅化物 α_(2)相 
钼铼合金表面MoSi2涂层制备及其结构性能
《内蒙古科技大学学报》2024年第2期200-204,共5页喻冲 刘喆 秦媛 夏季斌 
采用包埋渗法在钼铼合金基体上制备MoSi2涂层,探讨包埋渗工艺条件对涂层厚度的影响,通过X射线衍射、扫描电镜等手段研究所制备涂层的理化特性。研究结果表明:渗剂中氟化钠活化剂的用量、热处理温度及保温时间对涂层厚度具有显著影响。...
关键词:包埋渗法 钼铼合金 硅化物涂层 涂层厚度 
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