余辉洋

作品数：3被引量：14H指数：2
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供职机构：东南大学电子科学与工程学院更多>>
发文主题：压力传感器雨量传感器电容式传感器灵敏度玻璃衬底更多>>
发文领域：自动化与计算机技术文化科学电子电信更多>>
发文期刊：《传感技术学报》《东南大学学报（自然科学版）》更多>>
所获基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
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一种宽量程气压传感器的接口电路设计与测试标定被引量：11
《传感技术学报》2015年第3期320-324,共5页秦晓霞 高艳 余辉洋 聂萌 
国家863项目(项目号:2012AA040502)
高空探测气压传感器,其特点是测量量程宽,满足常压到极低压(10 h Pa)测量,因此,专用型压阻式气压传感器输出信号检测与数模转换接口电路的设计,是推广高空探测气压传感器应用的关键技术之一,具有十分重要的现实意义和广阔的使用前景。...
关键词：高空探测 气压传感器 性能测试 接口电路 数字化输出 
与CMOS兼容的MEMS气压传感器工艺实现与性能分析被引量：1
《纳米技术与精密工程》2012年第5期464-468,共5页王艳春 黄庆安 聂萌 余辉洋 
国家自然科学基金资助项目(60901009)
采用CMOS标准工艺,同时采用三种典型MEMS后处理关键工艺,重点通过对牺牲层释放工艺进行研究,制作实现了一种新型CMOS兼容的电容式气压传感器.在该传感器结构中,作为牺牲层的是在CMOS工艺中形成的掺硼氧化硅.通过释放使电容上电极悬空从...
关键词：MEMS牺牲层 电容式气压传感器 CMOS标准工艺 MEMS后处理工艺 
一种可用于雨量测量的压力传感器被引量：2
《东南大学学报（自然科学版）》2010年第3期522-526,共5页余辉洋 顾兴莲 秦明 
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2007AA04Z306)
设计了一种可用于测雨压的压力传感器,给出了传感器结构及其微加工流程.传感器由3×3的压敏电容阵列组成,压敏电容将压力信号转换成电容信号,通过检测雨水冲击作用间接测量雨量的大小.基于弹性力学理论建立了传感器的力学模型,并与ANSY...
关键词：MEMS 电容 雨量传感器 
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