周小燕

作品数：1被引量：2H指数：1
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发文主题：醋酸锌锌酸盐纤锌矿微管前驱物更多>>
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薄膜的自组织设计及形貌控制(英文)被引量：2
《发光学报》2004年第1期9-13,共5页周小燕 邓宏 姜斌 李燕 王恩信 
国家自然科学基金资助项目 ( 60 3 90 0 73 )~~
采用单源化学气相沉积 (SSCVD)法 ,在Si( 1 0 0 )基片上通过改变前驱反应体与基片的入射角度 ,获得了可控柱状取向的ZnO薄膜。研究发现 ,入射角度的改变可使沉积薄膜中的柱状结构的生成方向倾斜。但X射线衍射 (XRD)分析表明 :ZnO薄膜的c...
关键词：氧化锌薄膜 自组织设计 单源化学气相沉积法 柱状结构 入射角度 X射线衍射分析 C轴取向 
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