周振平

作品数：1被引量：4H指数：1
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供职机构：中国科学院物理研究所更多>>
发文主题：衬底氧化硅化学气相沉积法化学气相沉积纳米线更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术更多>>
发文期刊：《物理学报》更多>>
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衬底对化学气相沉积法制备氧化硅纳米线的影响被引量：4
《物理学报》2003年第2期454-458,共5页闫小琴 刘祖琴 唐东升 慈立杰 刘东方 周振平 梁迎新 袁华军 周维亚 王刚 
国家自然科学基金 (批准号 :1983 40 80 )资助的课题~~
通过化学气相沉积法在不同衬底上制备了大量的氧化硅纳米线 .选用衬底为Si片、带有约 10 0nm厚SiO2 氧化层Si片和石英片 .利用场发射扫描电子显微镜 (SEM)和透射电镜 (TEM ,配备有能谱仪 )对样品的表面形貌、结构和成分进行研究 .结果表...
关键词：衬底 氧化硅 化学气相沉积 纳米线 纳米颗粒 纳米材料 
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