梁迎新

作品数：3被引量：11H指数：2
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供职机构：中国科学院物理研究所更多>>
发文主题：纳米线刻印纳米图案衬底氧化硅更多>>
发文领域：一般工业技术电子电信更多>>
发文期刊：《物理学报》《微纳电子技术》更多>>
所获基金：国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金更多>>
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纳米器件的一种新制造工艺——纳米压印术(续)
《微纳电子技术》2003年第5期1-5,12,共6页梁迎新 王太宏 
国家重点基础研究专项经费;自然科学基金资助课题(69925410和19904015)
关键词：纳米器件 制造工艺 纳米压印术 步进-闪光压印术 电子器件 
纳米器件的一种新制造工艺——纳米压印术被引量：7
《微纳电子技术》2003年第4期2-7,共6页梁迎新 王太宏 
国家重点基础研究专项经费;自然科学基金资助课题(69925410和19904015)
纳米压印术可以用于大批量重复性地制备纳米图形结构。此项技术具有操作简单、分辨率高、重复性好、费时少,成本费用极低等优点。本文介绍了较早出现的软刻印术的两种方法———微接触印刷法和毛细管微模制法。详细讲述了纳米压印术(主...
关键词：纳米器件 纳米压印术 制造工艺 纳米图案 软刻印术 热压雕版压印法 步进-闪光压印法 
衬底对化学气相沉积法制备氧化硅纳米线的影响被引量：4
《物理学报》2003年第2期454-458,共5页闫小琴 刘祖琴 唐东升 慈立杰 刘东方 周振平 梁迎新 袁华军 周维亚 王刚 
国家自然科学基金 (批准号 :1983 40 80 )资助的课题~~
通过化学气相沉积法在不同衬底上制备了大量的氧化硅纳米线 .选用衬底为Si片、带有约 10 0nm厚SiO2 氧化层Si片和石英片 .利用场发射扫描电子显微镜 (SEM)和透射电镜 (TEM ,配备有能谱仪 )对样品的表面形貌、结构和成分进行研究 .结果表...
关键词：衬底 氧化硅 化学气相沉积 纳米线 纳米颗粒 纳米材料 
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