云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 周新翠

周新翠: 作品数：1被引量：5H指数：1; 导出分析报告; 供职机构：浙江大学更多>>; 发文主题：P型ZNO薄膜磷掺杂MOCVD法金属有机化学气相沉积MOCVD法生长更多>>; 发文领域：电子电信更多>>; 发文期刊：《Journal of Semiconductors》更多>>; 所获基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>

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MOCVD法制备磷掺杂p型ZnO薄膜被引量：5: 《Journal of Semiconductors》2006年第1期91-95,共5页周新翠叶志镇陈福刚徐伟中缪燕黄靖云吕建国朱丽萍赵炳辉; 国家重点基础研究专项经费(批准号:G2000068306);国家自然科学基金(批准号:90201038)资助项目~~; 利用金属有机化学气相沉积方法在玻璃衬底上生长了掺磷的p型ZnO薄膜.实验采用二乙基锌作为锌源,高纯氧气和五氧化二磷粉末分别作为氧源及磷掺杂源.实验表明生长温度为400～450℃时获得了p型ZnO薄膜,而且在420℃时,其电学性能最好,空穴...; 关键词：p-ZnO 金属有机化学气相沉积磷掺杂