周曙

作品数：6被引量：19H指数：3
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供职机构：中国科学院安徽光学精密机械研究所更多>>
发文主题：激光能量纳米晶水热法制备水热法氧化锌薄膜更多>>
发文领域：理学化学工程电子电信更多>>
发文期刊：《激光杂志》《化学进展》《无机材料学报》《强激光与粒子束》更多>>
所获基金：国家自然科学基金安徽省自然科学基金更多>>
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248 nm高反膜抗激光损伤性能被引量：3
《强激光与粒子束》2014年第8期77-80,共4页刘凤娟 周曙 秦娟娟 邵景珍 方晓东 
国家自然科学基金项目(61205138)
用电子束蒸发法在熔融石英基底上沉积了适用于248nm的HfO2/SiO2高反膜,为提高其抗激光损伤能力,设计并制备了两种保护层,一种是在常规高反膜系的基础上镀制二分之一波长厚度的SiO2保护层,另一种是用Al2O3/MgF2做保护层。测试了3种高反...
关键词：248 NM KrF准分子激光器 高反膜 激光损伤 保护层 
应用于极紫外光刻系统多层膜的研究进展被引量：4
《量子电子学报》2014年第1期1-11,共11页秦娟娟 董伟伟 周曙 游利兵 方晓东(指导) 
国家自然科学基金(51172237;61205138)资助项目
极紫外光刻是采用波长为13.5 nm的极紫外光作为光源,实现半导体集成电路工艺22 nm以及更窄线宽节点的主要候选光刻技术。性能优越稳定的多层膜技术是构建整个极紫外光刻系统的重要技术之一、从高反射率、波长匹配、控制面形以及稳定性...
关键词：激光技术 极紫外光刻 极紫外多层膜 沉积方法 
溶胶凝胶法制备钼掺杂氧化锌薄膜及性质研究(英文)被引量：4
《量子电子学报》2011年第2期247-252,共6页邵景珍 董伟伟 陶汝华 邓赞红 周曙 方晓东 
Anhui Provincial Natural Science Foundation(090414169);Anhui Provincial International Science and Technology Cooperation Program(10080703021)
利用溶胶凝胶法在Al_2O_3衬底上制备出了c轴择优取向的钼掺杂氧化锌(MZO)透明导电薄膜,研究了,钼的掺杂量(0～1 at%)对钼掺杂氧化锌薄膜光电性能的影响。研究结果表明:所制备的薄膜为六方纤锌矿型结构且表面平整、致密。通过高温真空退...
关键词：材料 光电特性 溶胶凝胶法 钼掺杂氧化锌 透明导电氧化物 
沉积激光能量对CuAlO_2薄膜光学性质的影响被引量：3
《无机材料学报》2011年第3期281-284,共4页邓赞红 方晓东 陶汝华 董伟伟 周曙 孟钢 邵景珍 
安徽省自然科学基金(090414169);中国科学院合肥物质科学研究院知识创新工程青年人才领域前沿项目~~
采用脉冲激光沉积法制备了CuAlO2薄膜.在沉积激光能量100～180mJ范围内原位沉积的薄膜并在N2气氛下900℃异位退火1h处理后,所有薄膜均为高度c轴取向的单相CuAlO2薄膜,晶粒尺寸～49nm.随着沉积激光能量的增大,薄膜厚度增加,表面颗粒尺寸...
关键词：脉冲激光沉积 CuAlO2薄膜 光学带隙 室温光致发光谱 
水热法制备铜铁矿型氧化物材料被引量：5
《化学进展》2010年第2期352-357,共6页周曙 方晓东 邓赞红 李达 
国家自然科学基金项目(No.50672097)资助
铜铁矿型氧化物材料在催化剂、发光材料、太阳能电池、臭氧传感器和p型透明导电氧化物等领域有广阔的应用前景,已成为研究的热点。本文阐述了水热法制备铜铁矿材料的基本原理和特点,介绍了水热法制备纳米铜铁矿材料的最新研究进展。
关键词：水热法 铜铁矿型氧化物 纳米晶 
新型薄膜材料在激光能量/功率计应用中的新进展
《激光杂志》2009年第4期4-6,共3页张玉亮 陶汝华 董伟伟 邓赞红 李达 王涛 赵义平 孟钢 周曙 王金梅 邵景珍 方晓东 
中科院安光所激光中心基金和中科院研究生科学与社会实践资助专项(创新研究类)
介绍了目前新型薄膜材料在激光能量/功率计应用中的最新试验研究进展。最近从实验中发现多种新型材料的薄膜具有光热辐射感生热电电压,对这种基于各向异性塞贝克效应的感生电压的性质进行详细的研究,发现并证明此类薄膜具有响应光谱宽...
关键词：薄膜 光热辐射感生热电电压效应 激光能量计 功率计寒贝克效应 
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