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作品数：4被引量：4H指数：1
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供职机构：郑州大学物理工程学院更多>>
发文主题：纳米压印假塑性流体掩膜板静摩擦力气体更多>>
发文领域：一般工业技术理学电子电信金属学及工艺更多>>
发文期刊：《物理学报》《微纳电子技术》《机械科学与技术》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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压缩式气压纳米压印阻尼减振分析被引量：1
《机械科学与技术》2014年第10期1463-1467,共5页刘超然 罗康 李天昊 夏委委 李冬雪 段智勇 
国家自然科学基金项目(51175479)资助
纳米压印技术十几年来获得快速发展,新提出的纳米压印压缩式气压纳米压印系统存在的自身振动影响图像转移精度。采用阻尼减振系统避免施压过程中伺服马达和施压活塞位移产生的系统振动影响。基于振源和施压系统结构建立阻尼减振模型,材...
关键词：纳米压印 压缩式气压 阻尼减振 模型仿真 蜂窝型 
金属诱导横向晶化非晶硅薄膜技术及新发展
《微纳电子技术》2013年第9期592-598,共7页李冬雪 汪浩 夏委委 刘超然 李天昊 段智勇 
国家自然科学基金资助项目(51175479)
金属诱导横向晶化技术(MILC)由于具有晶化温度低、晶化颗粒大等优点而获得了快速发展。阐述了金属诱导横向晶化非晶硅薄膜的晶化机理、晶化效果及影响晶化效果的主要参数,并介绍了基于多种辅助措施,如离子掺杂、电磁场辅助、微波退火、...
关键词：金属诱导 横向晶化 低温 活化能 多晶硅薄膜 
假塑性流体纳米压印中影响填充度的因素被引量：1
《物理学报》2013年第18期459-466,共8页夏委委 郑国恒 李天昊 刘超然 李冬雪 段智勇 
国家自然科学基金(批准号:51175479)资助的课题~~
作为新一代的半导体加工工艺,直接金属纳米压印以其步骤简单、成本低等显著优点得到迅速的发展.然而目前纳米压印中所采用的转移介质在流动状态下为牛顿流体,牛顿流体的黏度是一个常量,而假塑性流体具有黏度随着剪切速率的增大而逐渐减...
关键词：纳米压印 假塑性流体 填充度 
掩膜板凸出环隔离压缩式纳米压印施压气体的研究被引量：2
《物理学报》2013年第6期428-436,共9页李天昊 郑国恒 刘超然 夏委委 李冬雪 段智勇 
国家自然科学基金(批准号:51175479)资助的课题~~
在半导体微纳加工技术中,纳米压印由于具备低成本、高产出、超高分辨率等诸多优势而备受研究者和半导体厂商的青睐,有望成为下一代光刻技术的重要备选支撑技术之一.然而在其施压流程中,由于气体诱捕或陷入所造成的气泡缺陷问题直接关系...
关键词：纳米压印 凸出环 毛细液桥 静摩擦力 
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