崔江涛

作品数：3被引量：12H指数：2
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供职机构：哈尔滨工业大学材料科学与工程学院先进焊接与连接国家重点实验室更多>>
发文主题：磁控溅射沉积耐蚀性耐磨性磁控溅射靶旋片泵更多>>
发文领域：金属学及工艺一般工业技术机械工程更多>>
发文期刊：《真空科学与技术学报》《稀有金属材料与工程》更多>>
所获基金：国家自然科学基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
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偏压对磁控溅射沉积铌膜表面性能的影响被引量：8
《真空科学与技术学报》2008年第1期67-71,共5页崔江涛 田修波 杨士勤 
国家自然科学基金(No.50373007,No.10575025);新世纪优秀人才支持计划;哈尔滨科学后备带头人基金(No.2004AFXXJ013)
利用直流磁控溅射在钢基体上沉积了铌薄膜,分别采用扫描电镜、原子力显微镜、X射线衍射仪和电化学分析仪研究了不同偏压下铌膜表面形貌、相结构以及耐蚀性。实验结果表明:在低于300 V偏压下,偏压的变化并没有使得铌膜的晶体结构发生改变...
关键词：偏压 铌膜 结构 耐蚀性 
压强对磁控溅射沉积铌膜耐磨和耐蚀性的影响被引量：1
《稀有金属材料与工程》2008年第1期143-146,共4页崔江涛 田修波 胡新东 杨士勤 
国家自然科学基金(No.50373007);新世纪优秀人才支持计划
采用直流磁控溅射在钢基体上制备了铌薄膜,分别采用扫描电镜、原子力显微镜、X射线衍射仪、球盘式摩擦磨损实验机和电化学分析仪研究了不同溅射气压下铌膜表面形貌、相结构、耐磨性以及耐蚀性。结果表明:低压强下,晶粒细小,膜层平滑,晶...
关键词：溅射气压 铌膜 耐磨性 耐蚀性 
直流磁控溅射沉积钽膜的结构与性能研究被引量：3
《真空科学与技术学报》2007年第3期259-263,共5页崔江涛 刘向力 田修波 胡新东 杨士勤 
国家自然科学基金(No.50373007);跨世纪优秀人才支持计划;哈尔滨市科学后备带头人基金(No.2004AFXXJ013)
采用直流磁控溅射在钢基体上制备了钽薄膜,研究了溅射气压和电流对钽膜相结构、表面形貌、硬度以及耐磨性的影响。XRD结果表明:钽膜主要由α(体心立方结构)+β(四方体结构)混合相组成,在合适的实验条件下(0.65 Pa、0.6 A)可以得到单一...
关键词：直流磁控溅射 钽薄膜 相结构 耐磨性 
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