曾志峰

作品数：2被引量：5H指数：1
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供职机构：武汉大学物理科学与技术学院更多>>
发文主题：SNO射频溅射法掺杂二氧化锡薄膜溅射法制备更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术更多>>
发文期刊：《武汉大学学报（理学版）》更多>>
所获基金：湖北省自然科学基金更多>>
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射频溅射法制备掺杂SnO_2纳米薄膜的研究被引量：4
《武汉大学学报（理学版）》2004年第1期55-59,共5页曾志峰 于国萍 魏正和 何永华 
湖北省自然科学基金资助项目(2002AB0036)
采用射频反应溅射法在氧化处理后的单晶硅基片上制备SnO2纳米薄膜,并在薄膜中掺杂Sb和Pd用于改变薄膜的气敏特性.运用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)对薄膜的结构和表面形貌进行分析.结果表明,SnO2薄膜具有四方金红石结构,适量掺杂对SnO...
关键词：射频溅射法 制备 掺杂 二氧化锡薄膜 纳米薄膜 
SnO_2气敏薄膜的制作与性能研究被引量：1
《武汉大学学报（理学版）》2003年第5期613-616,共4页于国萍 易涛 魏正和 曾志峰 
湖北省自然科学基金资助项目(2002AB0036)
采用射频溅射法制备了SnO2气敏薄膜,并在薄膜中掺杂Sb2O3和Pt用于气敏薄膜的增敏.使用XRD对制备的薄膜进行了结构分析,测量了薄膜的吸收光谱和电阻,并研究了薄膜工艺条件的改变对薄膜结构和性能的影响.结果表明,不同退火温度下处理的氧...
关键词：SnO2气敏薄膜 制作方法 射频溅射法 氧化锡薄膜 薄膜结构 退火温度 敏感性能 金属氧化物半导体 
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