朱正涛

作品数:2被引量:8H指数:2
导出分析报告
供职机构:华南理工大学机械与汽车工程学院更多>>
发文主题:类金刚石薄膜DLCRF-PECVD工艺参膜结构更多>>
发文领域:化学工程金属学及工艺更多>>
发文期刊:《材料研究与应用》《材料科学与工程学报》更多>>
-

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
条 记 录,以下是1-2
视图:
排序:
RF-PECVD工艺参数对DLC膜结构及性能的影响被引量:6
《材料科学与工程学报》2009年第2期190-194,共5页谢红希 凌贵 朱正涛 
用射频等离子增强化学气相沉积(RF-PECVD)法,在常温下实现在载玻片和单晶硅基片上沉积类金刚石(DLC)薄膜。研究结果表明,工艺参数(功率密度、氩气分压、丁烷分压和极间距)的变化对薄膜硬度和透过率影响较大。薄膜硬度随着功率密度的增...
关键词:类金刚石薄膜 射频等离子增强化学气相沉积 拉曼光谱 透过率 
铝合金化学镀镍复合层工艺及性能研究被引量:2
《材料研究与应用》2006年第4期250-253,共4页朱正涛 谢红希 
先将铝合金样品阳极氧化30 min,然后电镀铜5 min,最后化学镀镍30 min,可以在铝合金表面获得颜色稳定、结合性能良好的复合层,且复合层致密,厚度可达20μm以上,复合层的硬度HV0.025/20达到450以上.阳极氧化和电镀铜所用溶液相同,给生产...
关键词:铝合金 阳极氧化 电镀铜 化学镀镍 复合层 
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部