李洪波

作品数：1被引量：3H指数：1
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供职机构：南开大学更多>>
发文主题：PECVD非晶硅薄膜光谱研究激光晶化喇曼光谱更多>>
发文领域：理学更多>>
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非晶硅薄膜的激光晶化及深度剖析喇曼光谱研究被引量：3
《发光学报》2003年第4期426-430,共5页徐晓轩 林海波 武中臣 李洪波 俞钢 朱箭 张存洲 张光寅 
教育部振兴计划资助项目
利用共焦显微喇曼光谱仪,对采用PECVD方法制备的非晶硅薄膜进行了退火晶化。晶化后薄膜的喇曼光谱表明,薄膜由非晶硅结构转变为微晶硅结构,同时根据微晶硅结构的喇曼光谱的晶化峰位的移动,可以计算出晶化后微晶硅晶粒尺寸为5nm左右。在...
关键词：非晶硅薄膜 激光晶化 深度剖析 喇曼光谱 共焦显微喇曼光谱仪 PECVD 退火晶化 制备 
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