李荣

作品数：2被引量：6H指数：1
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供职机构：西安工业大学光电工程学院更多>>
发文主题：激光损伤ZRO薄膜折射率复合膜工艺参数更多>>
发文领域：理学一般工业技术电子电信更多>>
发文期刊：《科技创新导报》《真空科学与技术学报》更多>>
所获基金：西安市科技创新支撑计划基金陕西省国际科技合作计划国家科技部专项基金更多>>
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TiO_2/ZrO_2复合薄膜的制备及工艺参数对薄膜折射率的影响被引量：6
《真空科学与技术学报》2010年第4期420-424,共5页徐均琪 李荣 苏俊宏 惠迎雪 
陕西省科技工业攻关计划项目(2007K07-17);陕西省国际科技合作重点项目(2008KW-12);西安市科技创新支撑计划(YF07051)
采用电子束蒸发混合膜料的方法制备了TiO2/ZrO2复合薄膜,研究了工艺条件(气体流量、沉积速率、基片温度、组份比)对其光学特性的影响。采用椭偏法测量了薄膜的折射率,分析了不同配比复合薄膜的色散特性,得出工艺参数与薄膜光学性能的相...
关键词：复合膜 折射率 配比 工艺参数 
光学介质薄膜抗激光损伤特性的研究
《科技创新导报》2010年第10期112-114,共3页李荣 徐均琪 苏俊宏 杭凌侠 
国家科技部资助项目(2007DFR70180);陕西省科技厅资助项目(2008KW-12)
采用离子束辅助沉积的方式镀制了几种介质膜料的单层膜。利用1.064μm调Q Nd:YAG脉冲激光器,对它们的损伤特性进行了研究。观察并讨论了在不同激光能量下薄膜的损伤现象,同时利用TaylorHobson干涉仪检测了薄膜表面的粗糙度变化。研究表...
关键词：光学介质薄膜 激光损伤 损伤形态 
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