阮晓明

作品数：1被引量：2H指数：1
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供职机构：西安微电子技术研究所更多>>
发文主题：石英挠性加速度计差动电容伺服电路力矩器标度因数更多>>
发文领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术电气工程更多>>
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悬臂梁式硅微加速度计的研制被引量：2
《电子元件与材料》2005年第5期17-20,共4页单光宝 阮晓明 姚军 耿增建 
"十五"国防预研资助项目(41308050102);"十五"预研<航天支撑技术>资助项目(417010105-2)
介绍一种悬臂梁式硅微加速度计的结构与工作原理,并利用ANSYS软件进行了仿真模拟。采用体硅“无掩膜”腐蚀技术,对设计出的敏感芯片进行了工艺试制。通过合理的设计,使挠性梁腐蚀区域侧面上产生(311)面,通过控制所产生的(311)面对(111)...
关键词：电子技术 MEMS 硅微加速度计 “无掩膜”腐蚀 多芯片组装 
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