傅德欣

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：天津理工学院光电信息与电子工程系更多>>
发文主题：薄膜厚度厚度测量光切显微镜金刚石薄膜声表面波器件更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《光电子．激光》更多>>
所获基金：天津市自然科学基金天津市教委科研基金更多>>
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声表面波器件基片金刚石薄膜厚度的测量被引量：1
《光电子．激光》2003年第8期824-826,共3页陈希明 岳澄 杨保和 曲长庆 傅德欣 熊瑛 
天津市自然科学基金重点资助项目(013800611;003800211);天津市教委科技发展基金资助项目(20010520)
研究了声表面波器件(SAWD)基片金刚石膜的厚度测量方法。通过光切显微镜和扫描电镜(SEM)测量结果的比较,讨论了测量精度。在沉积制备多层薄膜SAWD基片中金刚石薄膜的实验过程中,选用光切显微镜测量膜厚,测量精度0.5～1.0μm。
关键词：声表面波器件 SAWD 金刚石薄膜 厚度测量 光切显微镜 扫描电镜 
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