李雪

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发文主题：PTSI/P-SI硅X射线光电子谱半导体材料硅化铂更多>>
发文领域：电子电信理学更多>>
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利用X射线光电子谱对PtSi/p-Si(111)的电子结构研究
《哈尔滨理工大学学报》2001年第5期108-111,共4页李雪 殷景华 
利用磁控溅射方法制备了不同工艺条件下的 ＰｔＳｉ／ ｐ-Ｓｉ异质薄膜，采用Ｘ射线光电子讲（ＸＰＳ）测试其芯能级和价电子能谱．结果表明，其相形成由表面到界面为Ｐｔ，Ｐｔ＿２Ｓｉ，ＰｔＳｉ，材底温度的升高与沉积薄Ｐｔ膜有利...
关键词：X射线光电子谱 电子结构 介电子谱 PTSI/P-SI 硅化铂 光电子学 硅基光电材料 过渡金属硅化物 硅 薄膜 
PtSi/p-Si异质薄膜研究的新进展
《半导体情报》2001年第5期22-27,共6页李雪 殷景华 
综述了 Pt Si/p- Si异质薄膜近年来研究的新进展 ,包括 Pt Si/p- Si的制备工艺、相形成与分布、Pt Si/p- Si界面的微结构、价电子结构以及 Pt Si/p- Si肖特基势垒的研究现状 ,并且探讨了 Pt Si/p- Si的发展方向。
关键词：异质薄膜 微结构 硅 PTSI/P-SI 半导体材料 
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