王宇辉

作品数：3被引量：3H指数：1
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供职机构：华中科技大学光学与电子信息学院电子科学与技术系更多>>
发文主题：FBARC轴取向薄膜体声波谐振器表面粗糙度低温退火更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《物理学报》《真空科学与技术学报》《华中科技大学学报（自然科学版）》更多>>
所获基金：湖北省自然科学基金中国人民解放军总装备部预研基金更多>>
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BST组分梯度薄膜的性能研究
《真空科学与技术学报》2012年第11期955-960,共6页赵旭 胡作启 李园园 谢子健 王宇辉 
航天科工集团支撑基金项目;湖北省自然科学基金项目(2007ABA112)
采用射频磁控溅射法在蓝宝石衬底上制备了上组分梯度、下组分梯度及单层BST薄膜,对比研究了三种结构BST薄膜的电、热性能。实验表明:下组分梯度BST薄膜的介电性能最优(优值因子为66.2),温度稳定性能最佳(在25～80℃范围内,介温变化率为7...
关键词：梯度薄膜 磁控溅射 温度稳定性 EDS线扫描 
相变存储单元RESET多值存储过程的数值仿真研究
《物理学报》2012年第10期1-5,共5页谢子健 胡作启 王宇辉 赵旭 
装备预研基金(批准号:9140A16050109JW0506)资助的课题~~
使用数值仿真方法对相变随机存储器存储单元的RESET操作的多值存储过程进行了研究,建立了三维存储单元模型,用有限元法解Laplace方程及热传导方程以模拟电脉冲作用下的存储单元物性变化过程.计算出单元内相变层的相态分布及单元整体电阻...
关键词：相变随机存储器 多值存储 数值仿真 有限元法 
用于FBAR的C轴取向AlN压电薄膜的研制被引量：3
《华中科技大学学报（自然科学版）》2012年第1期6-9,共4页胡作启 王宇辉 谢子健 赵旭 
湖北省自然科学基金资助项目(2007ABA112)
用射频(RF)反应磁控溅射法,在硅基片上制备出了具有较低表面粗糙度、C轴择优取向的AlN压电薄膜.讨论了溅射功率对AlN压电薄膜结构和形貌的影响、氮气含量对AlN压电薄膜成分的影响以及低温退火对薄膜表面粗糙度的影响.XRD和SEM结果表明:...
关键词：薄膜体声波谐振器 AlN压电薄膜 C轴择优取向 低温退火 表面粗糙度 
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