陆梅君

作品数：2被引量：1H指数：1
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发文主题：可制造性设计OPC光学邻近效应更多>>
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用在可制造性设计中的光刻规则检查被引量：1
《半导体技术》2006年第12期920-923,共4页陆梅君 金晓亮 毛智彪 梁强 
上海浦东新区专项基金项目(PKJ2004-58)
可制造性设计(DFM)已经发展成为优化通晓制造技术设计中的有效工具,它包含从理论、规则到工具的整体应用来提升从设计到硅片的流程。基于制程模型的光刻规则检查(LRC),可查出没被设计规则检查(DRC)出来的设计布局的不足之处。本设计把...
关键词：可制造性设计 光刻规则检查 光学邻近效应修正 设计规则 制程窗口 
偏离最佳条件的基于模型的光学邻近效应修正
《半导体技术》2006年第9期673-675,679,共4页陆梅君 金晓亮 毛智彪 梁强 
上海浦东新区专项基金项目(PKJ2004-58)
提出了一种新型的与制程窗口紧密相关,被称为偏离最佳条件的基于模型的光学邻近效应模型,该模型包含制程参数变化的信息。该模型引导得到的修正的图形在工艺参数变化时也会表现得非常稳定,而且相对标准模型而言,缩短了建立模型的周期,...
关键词：偏离最佳 光学邻近效应 制程窗口 
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