韩竞科

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梁式硅微机械陀螺结构的研究
《遥测遥控》2001年第1期43-47,共5页韩竞科 王东红 陈伟平 蓝慕杰 王喜莲 王蔚 于杰 
通过分析梁式硅微机械陀螺的原理 ,确定了其结构参数。介绍制造工艺流程 ,完成了器件的制作 ,并测试出其工作谐振频率。
关键词：陀螺 哥氏力 微机械 微机电系统 
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