李军

作品数：1被引量：7H指数：1
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供职机构：中国电子科技集团第十三研究所更多>>
发文主题：真空度检测微机械陀螺仪HFSS软件X波段混合集成电路更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
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MEMS封装中真空封口及真空度检测技术被引量：7
《微纳电子技术》2003年第7期267-270,共4页张丽华 李军 邵崇俭 
通过对MEMS封装技术进行研究攻关 ,突破了针对微机械陀螺仪器件性能发挥所需的真空封口技术及真空度检测技术 ,使器件品质因数提高将近
关键词：MEMS 封装 真空封口 真空度检测 微机械陀螺仪 品质因数 
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