李哲阳

作品数：1被引量：5H指数：1
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供职机构：南京电子器件研究所更多>>
发文主题：4H-SIC欧姆接触退火碳化硅更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《固体电子学研究与进展》更多>>
所获基金：微波毫米波单片集成电路与模块国家级重点实验室基金国家教育部博士点基金江苏省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
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4H-SiC欧姆接触与测试方法研究被引量：5
《固体电子学研究与进展》2008年第1期38-41,共4页陈刚 柏松 李哲阳 韩平 
国家重点基础研究发展规划(2006CB604900);国家高技术研究发展规划(2006AA03A103;2006AA03A142);国家自然科学基金(6039072;60421003;60676057);高等学校博士学科点专项科研基金(20050284004);江苏省自然科学基金项目(BK2005210);单片集成电路与模块国家级重点实验室2006年度基金(9140C1404010605)
主要针对不同金属和工艺条件下的4H-SiC欧姆接触特性进行对比研究,形成4H-SiC的优良欧姆接触的最佳条件。通过TLM方法结合四探针测量得到特征接触电阻率,测得NiCr和Ni与4H-SiC的最佳特征接触电阻率分别达到ρc=9.02×10-6Ω.cm2,ρc=2.2...
关键词：碳化硅 欧姆接触 特征接触电阻率 退火 
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