李延锋

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SiC激光退火欧姆接触模拟分析及实验研究
《光电技术应用》2024年第1期39-45,共7页邹东阳 李果 李延锋 夏金宝 聂鸿坤 张百涛 
实现高可靠性、低电阻欧姆接触是获得高性能SiC功率半导体器件的前提,其直接决定功率器件的能耗水平。激光退火凭借局域化、温升快、控制灵活、精度高、连续能量输出稳定等优点,成为SiC功率器件的新一代主流退火技术。总结了近年来国内...
关键词：碳化硅(SiC) 半导体功率器件 欧姆接触 激光退火 
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