程川

作品数：6被引量：6H指数：2
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供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所更多>>
发文主题：电化学表面活性剂BDD大分子腐蚀速率更多>>
发文领域：电子电信理学金属学及工艺轻工技术与工程更多>>
发文期刊：《微纳电子技术》《天津纺织科技》《表面技术》《人工晶体学报》更多>>
所获基金：国家中长期科技发展规划重大专项河北省自然科学基金河北省教育厅科研基金国家科技重大专项更多>>
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金刚石膜电极电化学过程阴极被氧化的研究
《人工晶体学报》2015年第12期3577-3581,共5页高宝红 王辰伟 王帅 檀柏梅 刘玉岭 程川 张男男 
河北省自然科学基金(2013202247;F2015202267);中国电子科技集团公司第四十六研究所创新基金(CJ20130307);天津市电子材料与器件重点实验室资助
掺杂金刚石薄膜材料(BDD)具有优良的电化学催化氧化特性,研究发现,金刚石薄膜作为阳极的电化学氧化过程在一定条件下,能将阴极材料氧化。本文研究了电化学过程中电解液氧化浓度变化并对阴极材料进行XRD检测,经分析是金刚石薄膜电化学氧...
关键词：掺杂 金刚石薄膜 电化学 阴极 氧化 
一种有效去除CMP后铜表面CuO颗粒的清洗剂被引量：1
《微纳电子技术》2015年第1期64-68,共5页杨志欣 高宝红 王辰伟 孙鸣 孙铭斌 张男男 程川 檀柏梅 
国家中长期科技发展规划02科技重大专项资助项目(2009ZX02308-003)
在集成电路制造过程中,巨大规模集成电路(GLSI)多层铜布线片化学机械抛光(CMP)后铜线条表面会生成一些CuO颗粒,这些颗粒不仅对器件性能有很大危害,而且会降低器件可靠性。对CMP过程中CuO颗粒的产生机理进行了研究,针对CMP后铜表面所产生...
关键词：CuO颗粒 清洗剂 化学机械抛光(CMP) 颗粒去除 表面活性剂 
电压和电极间距对BDD电极电化学氧化效率的影响被引量：2
《微纳电子技术》2014年第12期803-806,共4页程川 高宝红 张男男 杨志欣 孙铭斌 檀柏梅 
国家02重大专项资助项目(2009ZX02308-003)
掺硼金刚石（BDD）薄膜电极具有很宽的电势窗口、很小的背景电流、很高的电化学稳定性、其电化学响应在很长时间内保持稳定以及耐腐蚀等优点。采用热丝化学气相沉积（HF—CvD）方法制备掺硼金刚石薄膜，并用金相显微镜、原子力显微镜（...
关键词：掺硼金刚石(BDD)薄膜电极 电化学 氧化效率 电解电压 电极间距 
碳源体积分数对BDD薄膜制备和性能的影响
《微纳电子技术》2014年第12期807-810,共4页张男男 檀柏梅 高宝红 程川 杨志欣 
02重大专项(2009zx02308-003)
以丙酮为碳源,采用热丝化学气相沉积(HFCVD)技术在钽衬底上制备p型硼掺杂金刚石(BDD)薄膜电极。在BDD电极制备过程中,碳源体积分数对它的质量和性能影响很大。利用AFM和XRD分析了丙酮体积分数对BDD电极表面形态和成膜质量的影响。利用...
关键词：丙酮体积分数 热丝化学气相沉积(HFCVD) 硼掺杂金刚石(BDD)薄膜 电化学 氧化效率 
无磨料复合清洗剂对铜膜表面腐蚀缺陷的控制被引量：3
《表面技术》2014年第5期61-65,共5页李炎 刘玉岭 卜小峰 孙铭斌 杨志欣 张男男 张玉峰 程川 
国家中长期科技发展规划02科技重大专项(2009ZX02308);河北省自然科学基金(E2013202247;F2012202094);河北省教育厅基金(2011128)~~
目的研究一种复合清洗剂对铜膜表面腐蚀缺陷的控制效果。方法通过单因素实验优化无磨料复合清洗剂组成和相应的清洗工艺,并通过研究优化的清洗条件对不同类型铜晶圆表面划伤、残留颗粒的清洗效果,验证该清洗剂的清洗性能。结果优化的清...
关键词：复合清洗剂 大分子螯合剂 表面活性剂 铜膜 腐蚀速率 
牛奶纤维理化性能与可染性的研究
《天津纺织科技》2014年第2期18-22,共5页李炎 张海燕 卜小峰 张男男 张玉峰 程川 
通过对牛奶纤维基本物理化学性质的研究,论述了牛奶纤维在纺织和印染方面的先进性和适用性。根据不同类型染料对牛奶纤维的上染情况,确定了适合上染牛奶纤维的染料种类。通过分析不同类型染料的染色速率曲线,得到了最佳染色工艺。根据...
关键词：牛奶纤维 羊毛 理化性能 可染性 
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