许娇

作品数:2被引量:3H指数:1
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供职机构:中北大学电子与计算机科学技术学院电子测试技术国家重点实验室更多>>
发文主题:矢量水听器单片集成阵列式半球形封装结构更多>>
发文领域:自动化与计算机技术电子电信更多>>
发文期刊:《舰船科学技术》《传感器与微系统》更多>>
所获基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划山西省青年科技研究基金更多>>
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单片集成四元阵列式MEMS矢量水听器的研究被引量:3
《传感器与微系统》2015年第1期9-12,16,共5页简泽明 陈尚 张国军 刘梦然 许娇 张文栋 
国家"863"计划资助项目(2013AA09A412);国家自然科学基金资助项目(61127008;51205374);山西省青年科技研究基金资助项目(2012021013-3)
针对当前对MEMS矢量水听器高可靠性迫切要求,设计了2×2单片集成四元阵列式MEMS矢量水听器,以保证其中一个敏感微结构失效损坏或工作不正常时,水听器仍能正常工作。结合ANSYS软件对阵列敏感微结构进行了仿真分析;设计了该微结构的加工...
关键词:阵列式MEMS矢量水听器 可靠性 灵敏度 指向性 
单片集成阵列式MEMS矢量水听器设计与仿真
《舰船科学技术》2014年第4期78-81,共4页薛南 张国军 申辉 王万军 陈桂英 许娇 
国家863计划资助项目(2011AA040404);国家自然科学基金资助项目(61127008/F040703)
针对当前对MEMS矢量水听器高可靠性、宽频带的迫切要求,设计了2×2单片集成阵列式MEMS矢量水听器。矢量水听器单片集成阵列化可以提高水听器一致性,大幅度降低水听器的制造成本。在理论分析的基础上,通过Ansys软件完成对阵列微敏感结构...
关键词:MEMS技术 矢量水听器 ANSYS仿真 
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