韩晶雪

作品数：3被引量：14H指数：2
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基于Monte Carlo方法的圆截面直角弯管传输几率被引量：6
《真空科学与技术学报》2013年第12期1169-1173,共5页张以忱 韩晶雪 贺佳 李建军 
借助Matlab软件,用蒙特卡洛方法对圆截面直角弯管在分子流态下的传输几率进行了模拟计算。通过数学方法实现对气体分子的虚拟约束和跟踪。本文先通过模拟最简单的圆直管道传输几率,并与Clausing、Dushman方法进行比较,验证了该方法的正...
关键词：传输几率 Monte Carlo 圆截面直角弯管 MATLAB 
干式涡旋真空泵的发展与关键问题被引量：5
《真空》2013年第3期26-29,共4页黄英 李建军 韩晶雪 张以忱 
涡旋真空泵是一种无油容积式机械真空泵,具有结构简单,有效容积利用系数大,压缩比大,在较宽的压力范围内具有较稳定的抽速,真空度高,驱动力矩小,功率变化小,振动噪声低,可靠性高等优点。本文介绍了涡旋真空泵的发展、目前不同结构型式...
关键词：真空泵 涡旋 无油 抽速 真空度 
直流磁控溅射中磁场强度和阴极电压对圆平面靶刻蚀形貌的影响被引量：3
《真空》2013年第3期70-73,共4页黄英 韩晶雪 李建军 常亮 张以忱 
本文借助Comsol和Matlab软件模拟了直流磁控溅射圆平面靶系统的磁场分布和荷电粒子分布,对不同磁场强度和阴极电压条件下的荷电粒子分布进行了模拟分析,通过比较靶面离子流密度分布曲线发现:当磁场强度增强时,靶面离子流密度分布曲线会...
关键词：直流磁控溅射 刻蚀形貌 模拟 圆平面靶 磁场强度 阴极电压 
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