李建军

作品数：7被引量：19H指数：3
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供职机构：沈阳真空技术研究所更多>>
发文主题：真空冶金直流磁控溅射炉体电极磁控溅射更多>>
发文领域：一般工业技术电子电信交通运输工程机械工程更多>>
发文期刊：《机电产品开发与创新》《真空科学与技术学报》《真空》更多>>
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电子束熔化逐层成型技术的现状及发展趋势被引量：2
《真空》2016年第4期71-74,共4页刘岩 张钧 李建军 
电子束熔化逐层成型技术(Electron Beam Melting,EBM)是一种新兴的快速成型技术,它可以通过计算机直接"输出"形成实物,近几年受到了社会的广泛关注。本文对EBM成型技术的工作原理、应用技术特点及原材料要求等方面的发展现状进行了系统...
关键词：EBM 熔化 快速成型 
直流磁控溅射中矩形平面靶刻蚀形貌的数值计算及优化被引量：3
《真空科学与技术学报》2014年第11期1206-1214,共9页黄英 李建军 张以忱 李傲 
对普通矩形平面靶的磁场分布、电子运动轨迹和电子分布进行了理论计算。通过磁场的解析表达式,解出电子在磁场中的运动方程,求得并从理论上解释了电子的运动轨迹。由电子的运动轨迹,并运用Monte Carlo方法,求得电子在磁场中的分布,得到...
关键词：磁控溅射 矩形靶 MONTE Carlo 刻蚀形貌 利用率 
基于Monte Carlo方法的圆截面直角弯管传输几率被引量：6
《真空科学与技术学报》2013年第12期1169-1173,共5页张以忱 韩晶雪 贺佳 李建军 
借助Matlab软件,用蒙特卡洛方法对圆截面直角弯管在分子流态下的传输几率进行了模拟计算。通过数学方法实现对气体分子的虚拟约束和跟踪。本文先通过模拟最简单的圆直管道传输几率,并与Clausing、Dushman方法进行比较,验证了该方法的正...
关键词：传输几率 Monte Carlo 圆截面直角弯管 MATLAB 
双面非对称干式涡旋真空泵的设计计算被引量：1
《真空科学与技术学报》2013年第12期1199-1202,共4页黄英 李建军 常亮 张国庆 
涡旋真空泵是一种无油容积式机械干式真空泵,具有结构简单,真空度高,振动噪声低,可靠性高等优点。但涡旋真空泵也有一些缺点,如抽速较低,初始抽气时泵的工作状态不稳定,加工制造困难等。本文提出了一种双面非对称涡旋真空泵的设计思路,...
关键词：真空泵 涡旋 抽速 双面 非对称 
干式涡旋真空泵的发展与关键问题被引量：5
《真空》2013年第3期26-29,共4页黄英 李建军 韩晶雪 张以忱 
涡旋真空泵是一种无油容积式机械真空泵,具有结构简单,有效容积利用系数大,压缩比大,在较宽的压力范围内具有较稳定的抽速,真空度高,驱动力矩小,功率变化小,振动噪声低,可靠性高等优点。本文介绍了涡旋真空泵的发展、目前不同结构型式...
关键词：真空泵 涡旋 无油 抽速 真空度 
直流磁控溅射中磁场强度和阴极电压对圆平面靶刻蚀形貌的影响被引量：3
《真空》2013年第3期70-73,共4页黄英 韩晶雪 李建军 常亮 张以忱 
本文借助Comsol和Matlab软件模拟了直流磁控溅射圆平面靶系统的磁场分布和荷电粒子分布,对不同磁场强度和阴极电压条件下的荷电粒子分布进行了模拟分析,通过比较靶面离子流密度分布曲线发现:当磁场强度增强时,靶面离子流密度分布曲线会...
关键词：直流磁控溅射 刻蚀形貌 模拟 圆平面靶 磁场强度 阴极电压 
悬挂行走式高压线除冰越障机器人的设计被引量：1
《机电产品开发与创新》2011年第6期22-23,15,共3页朱健林 原所先 陈陆淼 李建军 
通过对高压线除冰技术的分析,重点研究了高压线除冰技术中机械除冰方式的实现方法,通过大量的设想与实践,确定了高压线除冰机械装置的比较有效机构。设计了悬挂行走式高压线除冰越障机器人加强除冰能力。有助于在冰冻或大雪之后高压线...
关键词：高压线 除冰 越障 行走 机械 
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