刘颖敏

作品数：1被引量：3H指数：1
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供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室更多>>
发文主题：残余应力极紫外多层膜更多>>
发文领域：理学更多>>
发文期刊：《强激光与粒子束》更多>>
所获基金：国防民口配套项目国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
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极紫外多层膜残余应力初步研究被引量：3
《强激光与粒子束》2005年第3期377-380,共4页向鹏 金春水 张立超 金伟华 刘颖敏 曹健林 
国家自然科学基金重点资助课题(69938020);国家863计划项目资助课题;吉林省青年杰出基金项目资助课题;国防科工委民口配套项目资助课题
针对极紫外多层膜在激光等离子体诊断、极紫外光刻等方面的应用,进行了Mo/Si多层膜残余应力的实验研究,讨论了多层膜残余应力的成因。实验结果表明:Mo单层膜表现为张应力, Si单层膜表现为压应力;通过传统方法制备的13.0 nm处高反射率的4...
关键词：极紫外 多层膜 残余应力 
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