金伟华

作品数：4被引量：8H指数：2
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供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室更多>>
发文主题：遗传算法光学常数混合优化算法单纯形法椭偏光谱更多>>
发文领域：理学电子电信更多>>
发文期刊：《强激光与粒子束》《光学精密工程》《光学学报》《微细加工技术》更多>>
所获基金：国防民口配套项目国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
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基于混合优化算法测定铝薄膜光学常数被引量：4
《光学精密工程》2008年第9期1582-1588,共7页金伟华 金春水 张立超 朱宏力 刘磊 
吉林省科技厅项目(No.OT483UQ080)
提出了一种离线精确测定金属铝薄膜光学常数的方法。与传统的原位测量方法相比，这种方法简便，不需要连接到真空室的复杂测量设备上。该方法以测量椭偏光谱曲线和分光光谱曲线为目标，考虑金属铝薄膜在空气中表面氧化的影响，在混合优...
关键词：铝薄膜 光学常数 椭偏光谱 遗传算法 单纯形法 
基于多种群遗传算法的膜系优化设计
《微细加工技术》2007年第5期34-38,共5页刘磊 金春水 金伟华 
在膜系设计中采用多种群遗传算法,以希望提高计算的效率和结果的可靠性。利用该算法进行膜系优化设计,并与一般遗传算法比较,计算结果表明,多种群遗传算法能够显著提高膜系设计中计算的效率和可靠性,有利于膜系自动设计的进行。最后,利...
关键词：遗传算法 多种群 膜系优化设计 
X射线W/B_4C宽带多层膜的优化设计和制备被引量：1
《光学学报》2005年第10期1433-1435,共3页姚志华 金春水 杨雄 张立超 金伟华 曹健林 
介绍了X射线宽带多层膜材料W和B4C的选定方法,依据伯宁(BERNING)公式确定出了在0.154 nm处X射线宽带多层膜的最佳膜对数.引入适当的评价函数,利用具有全局寻优特性且效率较高的遗传算法,在波长0.154 nm处优化设计出了掠入射角(θ)0.5°...
关键词：X射线光学 宽带多层膜 评价函数 遗传算法 磁控溅射 
极紫外多层膜残余应力初步研究被引量：3
《强激光与粒子束》2005年第3期377-380,共4页向鹏 金春水 张立超 金伟华 刘颖敏 曹健林 
国家自然科学基金重点资助课题(69938020);国家863计划项目资助课题;吉林省青年杰出基金项目资助课题;国防科工委民口配套项目资助课题
针对极紫外多层膜在激光等离子体诊断、极紫外光刻等方面的应用,进行了Mo/Si多层膜残余应力的实验研究,讨论了多层膜残余应力的成因。实验结果表明:Mo单层膜表现为张应力, Si单层膜表现为压应力;通过传统方法制备的13.0 nm处高反射率的4...
关键词：极紫外 多层膜 残余应力 
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