向鹏

作品数：4被引量：20H指数：3
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供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文主题：残余应力多层膜MO/SI多层膜EUVL极紫外投影光刻更多>>
发文领域：理学电子电信机械工程更多>>
发文期刊：《光学精密工程》《强激光与粒子束》《光学仪器》更多>>
所获基金：国家自然科学基金中国科学院知识创新工程国防民口配套项目国家高技术研究发展计划更多>>
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极紫外多层膜残余应力初步研究被引量：3
《强激光与粒子束》2005年第3期377-380,共4页向鹏 金春水 张立超 金伟华 刘颖敏 曹健林 
国家自然科学基金重点资助课题(69938020);国家863计划项目资助课题;吉林省青年杰出基金项目资助课题;国防科工委民口配套项目资助课题
针对极紫外多层膜在激光等离子体诊断、极紫外光刻等方面的应用,进行了Mo/Si多层膜残余应力的实验研究,讨论了多层膜残余应力的成因。实验结果表明:Mo单层膜表现为张应力, Si单层膜表现为压应力;通过传统方法制备的13.0 nm处高反射率的4...
关键词：极紫外 多层膜 残余应力 
偏心孔阑离轴照明EUVL微缩投影物镜的设计及模拟装调
《光学仪器》2003年第4期39-43,共5页林强 金春水 向鹏 马月英 裴舒 曹健林 
国家自然科学基金重点项目 ( 6993 80 2 0 );中国科学院创新基金项目
针对极紫外投影光刻 ( Extreme Ultraviolet Lithography,简称 EUVL)工作波长短的特点及由此带来的一些问题 ,对 EUVL微缩投影物镜的结构参数进行分析选择 ,设计了离轴照明方式的 Schwarzschild微缩投影成像物镜。利用基于奇异值分解的...
关键词：极紫外投影光刻 EUVL 投影物镜 离轴照明 牛顿迭代法 敏感矩阵 计算机辅助装调 集成电路 
离轴照明Schwarzschild投影物镜的计算机辅助装调方法被引量：7
《光学精密工程》2003年第2期144-150,共7页林强 金春水 向鹏 曹健林 
国家自然科学基金重点项目(No.69938020);中国科学院创新基金项目
介绍计算机辅助装调方法在离轴照明EUVL光学系统中的应用,阐述了一种基于奇异值分解(SVD)的牛顿迭代法来求解失调量。利用该方法对敏感矩阵进行分解,从中分析得到影响不同像差的结构参数的敏感性,并筛选出补偿器,求出相应失调量的大小...
关键词：集成电路 EUVL 极紫外投影光刻 光学系统装调 奇异值分解 
Mo/Si多层膜残余应力的研究被引量：10
《光学精密工程》2003年第1期62-67,共6页向鹏 金春水 
国家自然科学基金重点资助项目 (No .6 99380 2 0 ) ;86 3_80 4高科技项目 ;中国科学院创新基金资助项目
在极紫外光刻技术中 ,光学系统对多层膜光学元件表面面形精度有严格的要求 ,并且多层膜光学元件需要较高的反射率。由于多层膜中存在的内应力将改变光学元件的表面面形 ,因此在不减少反射率的前提下 ,一定要减少或补偿多层膜内的残余应...
关键词：极紫外光刻 多层膜 残余应力 
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