姚志华

作品数：3被引量：1H指数：1
导出分析报告
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文主题：多层膜磁控溅射X射线参数测量衍射仪更多>>
发文领域：理学电子电信机械工程更多>>
发文期刊：《光学学报》《光电工程》《长春理工大学学报（自然科学版）》更多>>
所获基金：应用光学国家重点实验室开放基金国家高技术研究发展计划更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-3
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
粗糙度对极紫外投影光刻掩模的影响
《光电工程》2005年第10期80-83,共4页杨雄 金春水 姚志华 曹健林 
应用光学国家重点实验室基金
基于Nevot-Croce模型,计算了一系列具有粗糙界面的极紫外投影光刻掩模的反射光谱。通过拟合计算结果,得到了峰值反射率、带宽和中心波长与粗糙度的函数关系。根据光刻系统对照明均匀性的要求,讨论了在相同粗糙度变化范围内,分别由峰值...
关键词：极紫外投影光刻 掩模 粗糙度 反射光谱 多层膜 
X射线W/B_4C宽带多层膜的优化设计和制备被引量：1
《光学学报》2005年第10期1433-1435,共3页姚志华 金春水 杨雄 张立超 金伟华 曹健林 
介绍了X射线宽带多层膜材料W和B4C的选定方法,依据伯宁(BERNING)公式确定出了在0.154 nm处X射线宽带多层膜的最佳膜对数.引入适当的评价函数,利用具有全局寻优特性且效率较高的遗传算法,在波长0.154 nm处优化设计出了掠入射角(θ)0.5°...
关键词：X射线光学 宽带多层膜 评价函数 遗传算法 磁控溅射 
硬X射线梯度渐变多层膜设计
《长春理工大学学报（自然科学版）》2004年第3期80-83,共4页姚志华 金春水 曹健林 
863计划项目 ( 863 80 4-7-7)
讨论了硬X射线梯度渐变多层膜的膜对材料的选择 ,介绍了分析方法、数值解析方法和分堆栈法三种用于膜系理论设计的方法 ,并且就这三种方法的优缺点进行了比较和分析。
关键词：硬X射线梯度渐变多层膜 分析方法 数值解析方法 分堆栈法 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部